English

Vai precīzijas granīts ir labākais materiāls pusvadītāju litogrāfijas komponentiem?

Pateicoties tā nemagnētiskajai dabai, augstajai stingrībai un gandrīz nulles termiskajai izplešanās spējai, precīzs granīts ir būtisks materiāls nanometru līmeņa precizitātes nodrošināšanai litogrāfijā un metroloģijā.

Nemagnētiskā un ķīmiskā stabilitāte

Pusvadītāju ražošanas augstas intensitātes elektromagnētiskajā vidēGranīta komponentinovērstu traucējumus to nemagnētisko īpašību dēļ. Turklāt granīts ir ķīmiski inerts un neizdala gāzes vai daļiņas, padarot to ideāli piemērotu ISO 1. klases tīrtelpu videi.

Maksimāla fiziskā stingrība un izturība pret šļūdi

ZHHIMG izvēlētais augsta blīvuma melnais granīts piedāvā ārkārtēju cietību. Ilgstošas ​​slodzes apstākļos tas praktiski neuzrāda fizisku šļūdi, nodrošinot pastāvīgu, stabilu pamatu XY pakāpieniem un garantējot nemainīgu un atkārtojamu pozicionēšanas precizitāti daudzu gadu darbības laikā.

Dabiska priekšrocība termiskajā izplešanās procesā

Pusvadītāju procesi ir ārkārtīgi jutīgi pret karstumu. Granīta zemais termiskās izplešanās koeficients kompensē precīzijas motoru radīto siltumu. Apvienojumā ar mūsu augstas precizitātes apstrādi tas nodrošina, ka komponenti saglabā savu ģeometrisko integritāti dažādās darba temperatūrās.

Granīta komponenti ar augstu stabilitāti

Materiālu veiktspējas matrica

Īpašums Melnais granīts (Jinan Black) Uzlabotā keramika Alumīnija sakausējums
Blīvums (g/cm³) 3.07 3,6–3,9 2.7
Elastības modulis (GPa) 95–100 300+ 70
Termiskā izplešanās 5,0–7,0 (10⁻⁶/K) 4,0–8,0 23,0

Bieži uzdotie jautājumi: Precīzs granīts

  1. Kāpēc izvēlēties “melno” granītu? Tam ir lielāks blīvums, zemāka ūdens absorbcija un labāka stabilitāte nekā pelēkajam granītam.

  2. Kādas precizitātes klases jūs piedāvājat? Mēs ražojam atbilstoši DIN 876 000. klasei.

  3. Kāds ir maksimālais izmērs? ZHHIMG var apstrādāt atsevišķus gabalus, kuru garums ir līdz 12 metriem.

  4. Kā uzturēt granīta detaļas? Izmantojiet specializētus pH neitrālus tīrīšanas līdzekļus un izvairieties no saskares ar skābām vielām.

  5. Vai var urbt caurumus ieliktņiem? Jā, mēs piedāvājam precīzu urbšanu un sekundāro līmēšanu nerūsējošā tērauda ieliktņiem.

  6. Vai tas ir piemērots lietošanai vakuumā? Dabīgais granīts absolūti neizdala gāzes vakuuma apstākļos.

Publicēšanas laiks: 2026. gada 29. maijs