Granīta gaisa gultņu sistēmas tiek plaši izmantotasīpaši precīzakustību platformas pusvadītāju ražošanai, optiskajai izlīdzināšanai un nanometru mēroga metroloģijai.
Šīs sistēmas novērš mehānisku kontaktu, izmantojot plānu saspiesta gaisa plēvi, panākot gandrīz nulles berzes kustību.
Gaisa gultņu princips
Gaisa gultņi darbojas, ievadot saspiestu gaisu starp divām virsmām, veidojot 2–20 μm gaisa plēvi.
Tas novērš:
- Mehāniskā berze
- Valkāt
- Slīdēšanas uzvedība
Sistēma balstās uz šķidruma plēves dinamiku un stabilu lamināru plūsmu.
Granīta loma
Granīts nodrošina:
- Strukturālā stabilitāte
- Termiskās nobīdes slāpēšana
- Vibrāciju slāpēšana
Tas kalpo kā mehāniskā atskaites bāze kustības sistēmai.
Sistēmas komponenti
- Granīta pamatne
- Gaisa gultņu paliktņi
- Gaisa padeves sistēma
- Precīzijas kodētāji
- Kustību vadības sistēma
Veiktspējas raksturlielumi
Tipiska veiktspēja ietver:
- Submikrona pozicionēšanas precizitāte
- Augsta taisnvirziena spēja garos braucienos
- Nulle mehāniska prettrieciena
Galvenie kļūdu avoti ir gaisa spiediena nestabilitāte, termiskā novirze un kodētāja kļūda.
Pieteikumi
- Pusvadītāju vafeļu pārbaude
- Litogrāfijas sistēmas
- Optiskās izlīdzināšanas platformas
- Augstas klases metroloģijas iekārtas
Bieži uzdotie jautājumi
Vai gaisa gultņi nolietojas?
Mehāniskas saskares neesamība novērš nodilumu.
Kāpēc izmantot granītu?
Stabilitātei un vibrācijas slāpēšanai.
Kas ierobežo precizitāti?
Gaisa stabilitāte un termiskie efekti.
Vai viņi var nest smagas kravas?
Jā, atkarībā no dizaina.
Publicēšanas laiks: 2026. gada 3. jūlijs