Pusvadītāju rūpniecība darbojas ar tādu precizitāti, kas paplašina cilvēka atjautības robežas. Šīs nozares kvalitātes kontroles pamatā — pēdējā, kritiskajā posmā, pirms mikroshēma tiek uzskatīta par gatavu tirgum — atrodas šķietami vienkāršs materiāls: granīts. Konkrēti, precīzās granīta platformas ir galvenais risinājums pusvadītāju mikroshēmu pārbaudei, kas varētu pārsteigt tos, kas nav nozares speciālisti. ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) mēs šīs attiecības ļoti labi izprotam. Mūsu pieredze īpaši augstas precizitātes granīta komponentu un mērinstrumentu izgatavošanā ir padarījusi mūs par galveno partneri dažiem no pasaules vadošajiem pusvadītāju un metroloģijas uzņēmumiem. Granīta izmantošana šajā kritiski svarīgajā pielietojumā nav tradīcijas, bet gan tīras fizikas un inženierijas jautājums. Runa ir par unikālu un prasīgu prasību kopuma izpildi, ko neviens cits materiāls nevar tik efektīvi izpildīt.
Nepiekāpīgā prasība pēc stabilitātes
Pusvadītāju mikroshēmu pārbaude nav tikai defektu pārbaude; tā ir par mikroskopisku elementu, kas bieži tiek mērīti nanometros, perfektas formas pārbaudi. Šajā procesā tiek izmantots sarežģīts aprīkojums, piemēram, optiskās pārbaudes sistēmas (AOI) un rūpnieciskie datortomogrāfijas skeneri, kuriem skenēšanas laikā jāpaliek pilnīgi stabiliem. Jebkura vibrācija, termiskā izplešanās vai struktūras nobīde var radīt kļūdas, kas noved pie kļūdaini pozitīviem rezultātiem vai, vēl ļaunāk, nepamanītiem defektiem.
Šeit izceļas granīts. Atšķirībā no metāla, kas ievērojami izplešas un saraujas temperatūras izmaiņu ietekmē, granītam ir neticami zems termiskās izplešanās koeficients. Mūsu ZHHIMG® melnā granīta blīvums ir aptuveni 3100 kg/m3, kas nodrošina izcilu termisko stabilitāti. Tas nozīmē, ka granīta platforma saglabās savu formu un līdzenumu pat vidē, kur apkārtējās vides temperatūra nedaudz svārstās. Klimata kontrolētā darbnīcā, piemēram, mūsu 10 000 m2 lielajā objektā, kur temperatūra tiek uzturēta ar militāru precizitāti, granīta stabilitāte ir nepārspējama.
Turklāt granīta izcilās slāpēšanas īpašības ir būtiskas. Tas dabiski absorbē un izkliedē mehāniskās vibrācijas, novēršot to pārnešanu uz jutīgo pārbaudes aprīkojumu. Noslogotā ražotnē, kas ir pilna ar iekārtām, šī vibrāciju slāpēšana ir kritiski svarīga mērījumu integritātes saglabāšanai. Mūsu darbnīcas ir projektētas, ņemot to vērā, un tajās ir īpaši biezas betona grīdas un vibrācijas slāpēšanas tranšejas, lai radītu vidi, kurā mūsu amatnieki savā darbā var sasniegt nanometru līmeņa precizitāti.
Absolūtas līdzenuma meklējumi
Lai mikroshēmu pārbaudes sistēma darbotos, tās pamatnei jābūt pēc iespējas tuvāk pilnīgi līdzenai. Šajā kontekstā "līdzenas virsmas" jēdziens nav vizuāls, bet gan matemātisks, mērīts ar tādiem instrumentiem kā Renishaw lāzerinterferometri un Swiss Wyler elektroniskie līmeņrāži. Mikroshēmu inspektora mērķis ir izmērīt mikroshēmas līdzenumu līdz dažiem mikroniem vai pat nanometriem. Lai to izdarītu, pašai platformai jābūt par lieluma kārtām plakanākai.
Granīts ir materiāls, ko, izmantojot mūsu specializētās manuālās slīpēšanas metodes, var noslīpēt līdz praktiski nepārspējamam līdzenumam. Mūsu meistariem, no kuriem daudziem ir vairāk nekā 30 gadu pieredze, piemīt taustes sajūta, kas ļauj viņiem "sajust" tikai dažu mikronu līdzenuma novirzi. Šī cilvēciskā pieskāriena spēja apvienojumā ar mūsu pasaules klases aprīkojumu ļauj mums ražot granīta virsmas plāksnes ar nanometru līmeņa līdzenumu, padarot tās par ideālu atskaites plakni kalibrēšanai un pārbaudei. Tas ir pamats, uz kura tiek veidota precīza pusvadītāju pārbaude.
Unikālu pusvadītāju nozares pieprasījumu risināšana
Pusvadītāju nozarei ir arī īpašas vajadzības, kas pārsniedz stabilitāti un līdzenumu. Piemēram, daudzas pārbaudes sistēmas izmanto pneimatiskos gultņus, lai nodrošinātu kustību bez berzes. Granīts ir lielisks materiāls pneimatisko gultņu vadotnēm, pateicoties tā raksturīgajai stingrībai un porainībai, kas nodrošina smalku, vienmērīgu gaisa plūsmu. Mūsu granīta pneimatiskie gultņi ir izgatavoti pēc pasūtījuma, lai nodrošinātu vienmērīgu un precīzu kustību, kas ir būtiski ātrdarbīgai un precīzai pārbaudei.
Turklāt mūsu ZHHIMG® melnais granīts nav magnētisks un nevada elektrību, kas ir ļoti svarīgi jutīgām elektroniskām sastāvdaļām. Tas netraucē testēšanas iekārtu vai pašas mikroshēmas elektromagnētiskajiem laukiem. Šī neitralitāte ir īpašība, ko daudzas metāla platformas vienkārši nevar piedāvāt.
Uzņēmumā ZHHIMG® mēs ne tikai pārdodam granītu. Mēs nodrošinām kritiski svarīgu pamatu pasaulē vismodernākajām tehnoloģijām. Mūsu apņemšanās pret klientiem ir nodrošināt risinājumus, kas ir bez krāpšanas, bez slēpšanas, bez maldināšanas. Mēs cieši sadarbojamies ar saviem partneriem, tostarp tādiem milžiem kā Samsung un metroloģijas iestādēm, lai nodrošinātu, ka mūsu produkti ne tikai atbilst viņu specifikācijām, bet arī veicina viņu tehnoloģiju attīstību. Pusvadītāju ražošanas augsta līmeņa spēlē ZHHIMG® precīzās granīta platformas ir kluss, nekustīgs spēks, kas nodrošina stabilitāti un precizitāti, kas iedzīvina rītdienas inovācijas.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 28. septembris