Vibrācijas un kustības tendenču pārvaldīšana 2026. gada pusvadītāju ražošanā

Tā kā pusvadītāju nozare agresīvi tiecas pēc procesu mezgliem, kuru ātrums ir mazāks par 2 nm, mehānisko kļūdu robeža ir praktiski izzudusi. Šajā augsta riska vidē procesa kameras stabilitāte vairs nav sekundāra problēma; tā ir galvenais ražas ierobežojums. ZHHIMG mēs novērojam fundamentālas pārmaiņas tajā, kā globālie oriģinālā aprīkojuma ražotāji (OEM) pieiet pusvadītāju kapitālieguldījumu iekārtu strukturālajai integritātei.

Klusuma fizika: uzlabotas vibrāciju slāpēšanas metodes

Mūsdienu vafeļu ražošanā vibrācijas, kas kādreiz tika uzskatītas par "fona troksni", tagad ir katastrofālas. Neatkarīgi no tā, vai tās ir mikrosvārstības no iekārtas HVAC sistēmas vai ātrgaitas skenēšanas posma iekšējā inerce, nekontrolēta enerģija tieši pārvēršas pārklājuma kļūdās un izplūdušos rakstos.

Pašreizējās vibrāciju slāpēšanas metodes pusvadītāju ražošanā ir attīstījušās par daudzslāņu arhitektūru. Lai gan pasīvā slāpēšana, izmantojot augstas masas materiālus, piemēram, minerālu liešanu vai precīzijas granītu, joprojām ir pamatā, mēs novērojam aktīvās slāpēšanas integrācijas pieaugumu.

Aktīvās sistēmas izmanto pjezoelektriskos izpildmehānismus un reāllaika sensorus, lai “atceltu” vibrācijas, ģenerējot pretfrekvences. Tomēr aktīvo sistēmu efektivitāti pēc būtības ierobežo pamatmateriāla slāpēšanas koeficients. Šeit izšķiroša nozīme ir ZHHIMG pieredzei augstas slāpēšanas strukturālo materiālu jomā. Apvienojot aktīvo elektroniku ar dabiski inertu granīta vai kompozītmateriāla pamatni, mēs nodrošinām “klusuma zonu”, kurā nanopozicionēšana var notikt bez traucējumiem.

Bezberzes kustības uzplaukums: gaisa gultņu tehnoloģija

Pieprasījums pēc lielākas caurlaidspējas ir novedis līdz tradicionālo mehānisko gultņu robežai. Berze rada siltumu, un siltums rada termisko izplešanos — precizitātes ienaidnieku. Tas ir novedis pie plašas…gaisa gultņu tehnoloģija precīzijas posmiem.

Gaisa gultņi atbalsta slodzi uz plānas saspiesta gaisa plēves, kas parasti ir tikai dažus mikronus bieza. Tā kā nav fiziska kontakta, nav statiskās berzes (saspiešanas). Tas ļauj:

• Kustība bez histerēzes: Nodrošina, ka platforma katru reizi atgriežas tieši tajā pašā nanometra koordinātē.

• Ātruma nemainīgums: kritiski svarīgs skenēšanas lietojumprogrammām, piemēram, E-staru pārbaudei, kur pat mazākā mehāniskā gultņa "saķere" kropļotu attēlu.

• Īpaša ilgmūžība: Tā kā nav saskares detaļu, nav nodiluma un daļiņu veidošanās, padarot tās ideāli piemērotas 1. klases tīrtelpu videi.

Uzņēmumā ZHHIMG mēs ražojam īpaši plakanas granīta virsmas, kas kalpo kā vadotnes šiem gaisa gultņiem. Lai šīs virsmas darbotos pareizi, tām jābūt pārklātām līdz plakanumam, ko mēra gaismas viļņa garuma daļās.

Pusvadītāju kapitāla iekārtu tendences: 2026. gads un turpmāk

Virzoties uz 2026. gadu,pusvadītāju kapitālieguldījumu iekārtu tendencesraksturo “trīs pīlāri”: modularizācija, ilgtspējība un termiskā kontrole.

1. Modulāras platformas dizains: oriģinālā aprīkojuma ražotāji (OEM) meklē “plug-and-play” bāzes moduļus. Tā vietā, lai katram instrumentam izstrādātu jaunu pamatni, viņi izmanto standartizētus ZHHIMG precīzijas pamatus, kurus var pielāgot litogrāfijai, metroloģijai vai kodināšanai.

2. Termiskā pārvaldība: Tā kā EUV (ekstrēmi ultravioletā starojuma) gaismas avoti rada milzīgu siltumu, iekārtas pamatnei jādarbojas kā masīvam siltuma izkliedētājam. Mēs integrējam sarežģītus dzesēšanas kanālus tieši mūsu minerālu un granīta komponentos, lai uzturētu deltu $<0,01^\circ\text{C}$.

3. Vakuuma saderība: Tā kā arvien vairāk procesu tiek pārcelti uz augsta vakuuma vidi, izmantotajiem materiāliem nedrīkst būt gāzu izplūde. Mūsu specializētā granīta un keramikas apstrāde nodrošina, ka konstrukcijas pamats nekad neapdraud vakuuma integritāti.

Stratēģiska partnerība ar ZHHIMG

ZHHIMG nav tikai komponentu ražotājs; mēs esam stratēģisks partneris kustību vadības piegādes ķēdē. Mūsu ražotne Ķīnā cieši sadarbojas ar inženieru komandām Silīcija ielejā un Eindhovenā, lai risinātu vissarežģītākos stabilitātes izaicinājumus nozarē.

Izmantojot mūsu patentētās slīpēšanas metodes un mūsu dziļo izpratni parvibrācijas slāpēšanas metodes, mēs ļaujam saviem klientiem paplašināt Mūra likuma robežas. Neatkarīgi no tā, vai izstrādājat nākamās paaudzes ALD (atomu slāņu uzklāšanas) rīku vai ātrdarbīgu vafeļu zondēšanas ierīci, pamati sākas ar ZHHIMG.

Secinājums

Pusvadītāju ražošanas evolūcija ir sacensība ar fizikas likumiem. Nozarei tuvojoties 2026. gadam, uzmanība pneimatisko gultņu precizitātei un uzlabotai slāpēšanai tikai pastiprināsies. Lai neatpaliktu no šīm tendencēm, ir nepieciešams pamats – gan burtiski, gan pārnestā nozīmē –, kas balstīts uz zināšanām un inovācijām.