Jebkuras īpaši precīzas iekārtas — sākot no lielām koordinātu mērīšanas iekārtām (CMM) līdz modernām pusvadītāju litogrāfijas iekārtām — stabilitāte un precizitāte pamatā balstās uz tās granīta pamatu. Strādājot ar ievērojama mēroga monolītām pamatnēm vai sarežģītiem daudzsekciju granīta plakanajiem paneļiem, montāžas un uzstādīšanas process ir tikpat svarīgs kā pati ražošanas precizitāte. Vienkārši novietot gatavu paneli nepietiek; ir jāievēro īpašas vides un konstrukcijas prasības, lai saglabātu un izmantotu paneļa sertificēto submikrona līdzenumu.
1. Pamatne: stabila, līdzena virsma
Visizplatītākais nepareizais uzskats ir tāds, ka precīzijas granīta paneļi, piemēram, tie, kas izgatavoti no mūsu augsta blīvuma ZHHIMG® melnā granīta (3100 kg/m³), var koriģēt nestabilu grīdu. Lai gan granīts nodrošina izcilu stingrību, tam jābūt balstītam uz konstrukcijas, kas konstruēta minimālai ilgtermiņa novirzei.
Montāžas zonai jābūt aprīkotai ar betona pamatni, kas ir ne tikai līdzena, bet arī pareizi sacietējusi, bieži vien atbilstoši militārā līmeņa biezuma un blīvuma specifikācijām, kas atspoguļo 1000 mm biezas, īpaši cietas betona grīdas ZHHIMG montāžas zālēs. Svarīgi ir tas, lai šī pamatne būtu izolēta no ārējiem vibrācijas avotiem. Mūsu lielāko mašīnu bāzu projektēšanā mēs iekļaujam tādus konceptus kā vibrācijas slāpējoša grāvis ap mūsu metroloģijas telpām, lai nodrošinātu, ka pati pamatne ir statiska un izolēta.
2. Izolācijas slānis: javas aizpildīšana un izlīdzināšana
Tiešs kontakts starp granīta paneli un betona pamatu ir stingri jāizvairās. Granīta pamatnei jābūt atbalstītai noteiktos, matemātiski aprēķinātos punktos, lai novērstu iekšējo spriegumu un saglabātu tās sertificēto ģeometriju. Tam nepieciešama profesionāla izlīdzināšanas sistēma un javas slānis.
Kad panelis ir precīzi novietots, izmantojot regulējamus līmeņošanas domkratus vai ķīļus, dobumā starp granītu un pamatni tiek iesūknēta augstas stiprības, nesarūkoša, precīza java. Šī specializētā java sacietē, veidojot augsta blīvuma, vienmērīgu saskarni, kas vienmērīgi sadala paneļa svaru, novēršot noslīdēšanu vai deformāciju, kas citādi varētu radīt iekšēju spriegumu un laika gaitā apdraudēt līdzenumu. Šis solis efektīvi pārveido granīta paneli un pamatu vienotā, saliedētā un stingrā masā.
3. Termiskais un laika līdzsvars
Tāpat kā visos augstas precizitātes metroloģijas darbos, pacietība ir ārkārtīgi svarīga. Granīta panelim, javas materiālam un betona pamatnei ir jāpanāk termiskais līdzsvars ar apkārtējo darba vidi, pirms tiek veiktas galīgās izlīdzināšanas pārbaudes. Šis process ļoti lieliem paneļiem var ilgt vairākas dienas.
Turklāt līmeņošanas regulēšana, ko veic, izmantojot tādus instrumentus kā lāzera interferometrus un elektroniskos līmeņrāžus, jāveic lēni, ar nelielu soli, dodot materiālam laiku nosēsties. Mūsu meistarīgie tehniķi, kas ievēro stingrus globālos metroloģijas standartus (DIN, ASME), saprot, ka steidzīga galīgā līmeņošana var radīt slēptu spriegumu, kas vēlāk parādīsies kā precizitātes novirze.
4. Komponentu integrācija un pielāgota montāža
ZHHIMG pielāgotajiem granīta komponentiem vai granīta plakanajiem paneļiem, kas integrē lineāros motorus, gaisa gultņus vai CMM sliedes, galīgā montāža prasa absolūtu tīrību. Mūsu īpaši paredzētās tīrās montāžas telpas, kas atdarina pusvadītāju iekārtu vidi, ir nepieciešamas, jo pat mikroskopiskas putekļu daļiņas, kas iesprostotas starp granītu un metāla komponentu, var izraisīt mikrodeformāciju. Katra saskarne ir rūpīgi jāiztīra un jāpārbauda pirms galīgās nostiprināšanas, nodrošinot, ka komponenta izmēru stabilitāte tiek nevainojami pārnesta uz pašu mašīnu sistēmu.
Ievērojot šīs stingrās prasības, klienti nodrošina, ka viņi ne tikai uzstāda komponentu, bet arī veiksmīgi definē galīgo atskaites punktu savām īpaši precīzajām iekārtām — pamatu, ko garantē ZHHIMG materiālzinātnes un ražošanas pieredze.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 29. oktobris