8 precīzijas granīta komponentu tipiskie pielietojumi pusvadītāju iekārtās

Pusvadītāju iekārtās pamatstruktūra ir daļa no precizitātes budžeta. Plākšņu pārbaudes instrumentam, lāzera apstrādes platformai vai metroloģijas posmam nav nepieciešama tikai dimensiju ziņā precīza struktūra jau no pirmās dienas. Tai ir nepieciešama struktūra, kas saglabā savu ģeometriju termisko ciklu laikā, ir izturīga pret vibrāciju, saglabā montāžas savienojumus un kontrolējamā vidē paliek tīra. Šī prasību kombinācija ir iemesls, kāpēc precīzs granīts ir kļuvis par standarta konstrukcijas materiālu visā pusvadītāju nozarē.

Zemāk ir norādīti astoņi tipiski pielietojumiprecīzijas granīta komponentipusvadītāju iekārtās, un katrai no tām: tipiskās iesaistītās detaļas, inženiertehniskie apsvērumi, kas nosaka panākumus, un kas piegādātājam jāpiedāvā. Ja projektējat jaunu instrumentu, šis ir arī kontrolsaraksts jūsu pieprasījumam.

Liela apstrādāta granīta pamatne ar frēzētām kabatām un vītņotiem ieliktņiem – pusvadītāju iekārtu moduļa strukturālais pamats.

1. Plākšņu pārbaudes un optiskās metroloģijas iekārtu pamatnes

Optiskajai pārbaudei, defektu pārskatīšanai un vizuālo mērījumu sistēmām visām ir viena prasība: stabils stiprinājums un mērījumu atskaites punkts zem augstas izšķirtspējas optikas. Jebkura pamatnes mikrokustība attēlā kļūst par troksni.

• Tipiskas sastāvdaļas:granīta pamatne, kolonna, tilts, optiskās sliedes montāžas virsma, vītņoti ieliktņi.
• Inženierzinātņu fokuss:optiskās atskaites plaknes līdzenums, montāžas virsmu paralēlisms, urbuma pozīcijas precizitāte, termiskā stabilitāte, vibrāciju kontrole.
• Ko ZHHIMG nodrošina:materiālu izvēle, konstrukciju apstrāde, precīza slīpēšana, ieliktņu uzstādīšana un izmēru pārbaudes ziņojumi katrai kritiskajai virsmai.
• Jūsu pieprasījumam:2D/3D rasējumi, optiskā kravnesība, mērķa atkārtojamība, vides temperatūras diapazons.

2. Vafeļu apstrādes un precīzas pozicionēšanas platformas

XY platformām, lineāro motoru platformām un augstas precizitātes pozicionēšanas mehānismiem ir nepieciešams stingrs mehānisks atskaites punkts, kas nemainās, platformai paātrinoties un palēninot ātrumu tūkstošiem reižu stundā.

• Tipiskas sastāvdaļas:granīta pamatplāksne, granītsmašīnas gulta, lineāro vadotņu montāžas sliedes, motora montāžas paliktņi.
• Inženierzinātņu fokuss:vadotņu ligzdu līdzenums un taisnums, perpendikulitāte starp asīm, ieliktņa izraušanas izturība, skatuves izraisītu vibrāciju slāpēšana.
• Ko ZHHIMG nodrošina:Sliedes sēdekļa apstrāde ar stingru pielaidi, ieliktņu uzstādīšana ar griezes momenta dokumentāciju, modālo un plakanuma mērījumu datiem.
• Jūsu pieprasījumam:gājiens, slodze, paātrinājuma profils, mērķa pozicionēšanas precizitāte, uzstādīšanas orientācija.

3. AOI iekārtu konstrukcijas daļas

Automatizēti optiskās pārbaudes rīki apvieno augstas izšķirtspējas attēlveidošanu ar ātru kustību. Pamatne, sija un kolonna nes kameras un apgaismojumu, un montāžas rāmis uztur katru moduli ģeometriskā attiecībā.

• Tipiskas sastāvdaļas:granīta pamatne, šķērssija, kolonna, kameras un sensora montāžas virsmas, montāžas rāmja saskarnes.
• Inženierzinātņu fokuss:Kolonnas perpendikulārums pamatnei, sijas paralēlisms, caurumu un rievu pozīcijas precizitāte, ilgtermiņa ģeometriskā stabilitāte.
• Ko ZHHIMG nodrošina:Apstrādāti un pārlapoti konstrukcijas komplekti, savienojošas metāla detaļas, rūpnīcas iepriekšēja montāža un ģeometrijas pārbaude pirms nosūtīšanas.
• Jūsu pieprasījumam:CAD dati, kameras un apgaismojuma izkārtojums, kustības aploksne, nepieciešamā attēlveidošanas stabilitāte.

4. Rūpniecisko datortomogrāfijas un rentgena pārbaudes sistēmu pamati

Rūpnieciskās datortomogrāfijas un rentgena sistēmas vienā struktūrā izvieto avotu, manipulācijas platformu un detektoru. Jebkura relatīva kustība starp šiem trim elementiem parādās kā attēla kļūda.

• Tipiskas sastāvdaļas:granīta pamatne, rotējošas platformas montāžas plāksne, avota un detektora kolonnas, starojuma ekranēšanas integrācijas virsmas.
• Inženierzinātņu fokuss:koaksiālais izlīdzināšanas atsauces punkts starp avotu, platformu un detektoru, rotācijas ass sēdekļa līdzenums, vibrācijas kontrole, cauruma pozīcijas precizitāte.
• Ko ZHHIMG nodrošina:Daudzvirsmu apstrāde ar izlīdzināšanas atskaites punktiem, ieliktņu uzstādīšana, pilna izmēra atskaite ar norādītajiem mērījumu nosacījumiem.
• Jūsu pieprasījumam:avota–detektora attālums, rotējošā krava, izšķirtspējas mērķis, grīdas platība un uzstādīšanas metode.

5. Lāzerapstrādes un lāzermērījumu platformas

Femtosekundes un pikosekundes lāzera mikroapstrāde, precīza marķēšana, optiskā izlīdzināšana un lāzera mērīšanas iekārtas fokusē enerģiju caur staru kūļa līniju, kas izmērīta mikronos. Platforma zem optikas nedrīkst kustināt staru kūli.

• Tipiskas sastāvdaļas:granīta platforma, optiskās galvas atbalsts, staru ceļa montāžas sliedes, sagataves galds.
• Inženierzinātņu fokuss:optiskās montāžas plaknes līdzenums, termiskā stabilitāte slēgtās lāzera vidēs, augstfrekvences vibrāciju slāpēšana.
• Ko ZHHIMG nodrošina:Slāpēšanai izvēlēts smalkgraudains granīts, pārklātas optiskās montāžas virsmas, integrācija ar šūnveida vai tērauda pamatnēm, ja nepieciešams.
• Jūsu pieprasījumam:lāzera viļņa garums un jauda, ​​optiskais izkārtojums, darba zona, tīrības prasības.

6. KMM, video mērīšanas un precīzās metroloģijas iekārtas

Granīts jau sen ir metroloģijas noklusējuma materiāls: darba galdi, vadotnes, kolonnas, tiltiņi un CMM pamatnes, video mērīšanas iekārtas un citi precīzijas mērīšanas instrumenti ir atkarīgi no granīta stabilitātes un pārlapojamības.

• Tipiskas sastāvdaļas:darba galds,precīza mērīšanaatskaites virsmas, tiltu un kolonnu konstrukcijas, vadotņu sēdekļi.
• Inženierzinātņu fokuss:Mērīšanas galda mikronu līmeņa līdzenums, vadotņu ligzdu taisnums visā gājienā, nodilumizturība slīdošā kontaktā.
• Ko ZHHIMG nodrošina:ar roku slīpētas virsmas ar līdzenuma kartēm, kalibrēšanas sertifikātiem, kas izsekojami līdz faktiski izmantotajam instrumentam, pēc izvēles saskaņota slīpēšana.
• Jūsu pieprasījumam:mērīšanas diapazons, precizitātes klase, MPE mērķis, piemērojamie standarti.

7. Precīzas kustības platformas ar gaisa gultņiem

Gaisa gultņi pārvietojas pa spiedienam pakļautu plēvi bez cieta kontakta, kas samazina berzi un nodilumu gandrīz līdz nullei. Granīts zem gaisa gultņa nav pasīvs bloks: tā virsmas kvalitāte tieši nosaka plēves uzvedību.

• Tipiskas sastāvdaļas:granīta pamatne ar pārlapojumugaisa gultnisvirsmas, vadotnes, granīta meistari apaļuma un līdzenuma instrumentiem, īpaši precīzas skatuves konstrukcijas.
• Inženierzinātņu fokuss:Gaisa plēves virsmu apdare un līdzenums, poru un mikrodefektu kontrole, paralēlisms starp pretējām gultņu virsmām, ilgtermiņa stabilitāte.
• Ko ZHHIMG nodrošina:slīpētas un pulētas gaisa nesošās virsmas ar sertificētu ģeometriju, saskaņotiem virsmu komplektiem un tīrtelpām piemērotu iepakojumu.
• Jūsu pieprasījumam:gaisa plēves dizains, slodze un priekšslodze, gājiens, mērķa taisnums vai apaļums.

8. Modulāras montāžas platformas pusvadītāju iekārtu moduļiem

Augstas precizitātes moduļu galīgā integrācija notiek kontrolētā temperatūrā, mitrumā un vibrācijas apstākļos, bieži vien tīrtelpā. Granīta platformas kalpo kā montāžas atskaites punkts, kur saliek kopā granīta detaļas, metāla detaļas, keramikas detaļas, sliedes, gaisa gultņu komponenti un kustības moduļi.

• Tipiskas sastāvdaļas:modulāras granīta montāžas platformas, instrumentu un armatūras saskarnes, moduļu piestiprināšanas virsmas.
• Inženierzinātņu fokuss:Datu datu konsekvence visos moduļos, ieliktņu un dībeļu precizitāte, saderība ar tīrtelpas montāžas apstākļiem.
• Ko ZHHIMG nodrošina:tīrtelpamontāža, pārbaude un kalibrēšanapilnīgu moduļu izgatavošana, integrējot granīta, metāla un keramikas komponentus pārbaudītā konstrukcijā.
• Jūsu pieprasījumam:moduļu saraksts, tīrības klase, montāžas secība, galīgās pārbaudes kritēriji.

Viens inženiertehniskais kontrolsaraksts visiem astoņiem pielietojumiem

Visos šajos pielietojumos inženiertehniskie jautājumi paliek nemainīgi: kādai ģeometrijai ir jāiztur, kādā platībā, kādā termiskā un vibrācijas vidē un cik ilgi. Granīta piegādātājs, kas var sniegt atbildi ar izmērītiem datiem – līdzenuma kartēm, partijas materiālu pārskatiem, ieliktņu griezes momenta ierakstiem –, ir piegādātājs, kuru var auditēt. ZHHIMG atbalstapusvadītāju iekārtasražotāji ar tieši šādu pieeju.

ZHHIMG® atbalsta pusvadītāju iekārtu ražotājus ar pielāgotām granīta pamatnēm, rāmjiem, vadotnēm, gaisa nesošajām konstrukcijām un integrētiem precīzijas mezgliem. Sazinieties ar mums, lai saņemtu savu rasējumu inženiertehniskai novērtēšanai.