♦Alumīnija oksīds (Al2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) ražotās precīzās keramikas detaļas var būt izgatavotas no augstas tīrības pakāpes keramikas izejvielām, 92–97 % alumīnija oksīda, 99,5 % alumīnija oksīda, >99,9 % alumīnija oksīda, un CIP aukstās izostatiskās presēšanas. Augstas temperatūras sintēze un precīza apstrāde, izmēru precizitāte ± 0,001 mm, gludums līdz Ra0,1, lietošanas temperatūra līdz 1600 grādiem. Atbilstoši klientu prasībām var izgatavot dažādas keramikas krāsas, piemēram: melnu, baltu, bēšu, tumši sarkanu utt. Mūsu uzņēmuma ražotās precīzās keramikas detaļas ir izturīgas pret augstu temperatūru, koroziju, nodilumu un izolāciju, un tās var ilgstoši izmantot augstā temperatūrā, vakuumā un kodīgā gāzu vidē.
Plaši izmanto dažādās pusvadītāju ražošanas iekārtās: rāmjos (keramikas kronšteinā), substrātā (pamatnē), svirā/tiltiņā (manipulatorā), mehāniskajās sastāvdaļās un keramikas gaisa gultņos.
Produkta nosaukums | Augstas tīrības pakāpes 99 alumīnija oksīda keramikas kvadrātveida caurule / caurule / stienis | |||||
Indekss | Vienība | 85 % Al₂O₃ | 95 % Al₂O₃ | 99% Al₂O₃ | 99,5 % Al₂O₃ | |
Blīvums | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Ūdens absorbcija | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Saķepināšanas temperatūra | ℃ | 1620. gadā | 1650. gadā | 1800. gadā | 1800. gadā | |
Cietība | Mosa | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Lieces izturība (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 grādi | |
Spiedes izturība | Kgf/cm² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Ilgstoša darba temperatūra | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650. gadā | |
Maksimālā darba temperatūra | ℃ | 1450 | 1600 | 1800. gadā | 1800. gadā | |
Tilpuma pretestība | 20 ℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012.–1013. g. | 1012.–1013. g. | 1012.–1013. g. | 1012.–1013. g. | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda keramikas pielietojums:
1. Pielieto pusvadītāju iekārtām: keramikas vakuuma patrona, griešanas disks, tīrīšanas disks, keramikas CHUCK.
2. Plākšņu pārneses detaļas: plākšņu apstrādes patronas, plākšņu griešanas diski, plākšņu tīrīšanas diski, plākšņu optiskās pārbaudes piesūcekņi.
3. LED/LCD plakanā paneļa displeju nozare: keramikas sprausla, keramikas slīpēšanas disks, PACĒLĀJA PIN, PIN sliede.
4. Optiskā komunikācija, saules enerģijas rūpniecība: keramikas caurules, keramikas stieņi, shēmas plates sietspiedes keramikas skrāpji.
5. Karstumizturīgas un elektriski izolējošas detaļas: keramikas gultņi.
Pašlaik alumīnija oksīda keramiku var iedalīt augstas tīrības pakāpes un parastajā keramikā. Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda keramikas sērija attiecas uz keramikas materiālu, kas satur vairāk nekā 99,9% Al₂O₃. Tā kā tā saķepināšanas temperatūra sasniedz 1650–1990 °C un tā caurlaidības viļņa garums ir 1–6 μm, to parasti pārstrādā kausētā stiklā, nevis platīna tīģelī: to var izmantot kā nātrija cauruli, pateicoties tā gaismas caurlaidībai un izturībai pret sārmu metālu koroziju. Elektronikas rūpniecībā to var izmantot kā augstfrekvences izolācijas materiālu IC substrātiem. Atkarībā no alumīnija oksīda satura, parastās alumīnija oksīda keramikas sērijas var iedalīt 99., 95., 90. un 85. keramikā. Dažreiz keramika ar 80% vai 75% alumīnija oksīda tiek klasificēta arī kā parastās alumīnija oksīda keramikas sērija. Starp tiem 99 alumīnija oksīda keramikas materiāls tiek izmantots augstas temperatūras tīģeļu, ugunsdrošu krāsns cauruļu un īpašu nodilumizturīgu materiālu, piemēram, keramikas gultņu, keramikas blīvējumu un vārstu plākšņu, ražošanai. 95 alumīnija keramika galvenokārt tiek izmantota kā korozijizturīga nodilumizturīga detaļa. 85 keramika bieži tiek sajaukta ar dažām īpašībām, tādējādi uzlabojot elektrisko veiktspēju un mehānisko izturību. Tajā var izmantot molibdēna, niobija, tantala un citus metāla blīvējumus, un daži tiek izmantoti kā elektriskās vakuuma ierīces.
Kvalitātes prece (reprezentatīvā vērtība) | Produkta nosaukums | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Ķīmiskais sastāvs: zema nātrija satura produkts, viegli saķepināms | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOl | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Vidēja daļiņu diametrs (MT-3300, lāzera analīzes metode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristāla izmērs | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Veidošanās blīvums** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Saķepināšanas blīvums** | g/cm³ | 3.88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Sintēšanas līnijas saraušanās ātrums** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO nav iekļauts Al₂O₃ tīrības aprēķinā.
* Bez atlobīšanās pulvera 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintēzes temperatūra ir 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Pievienojiet 0,05 ~ 0,1% MgO, saķepināmība ir lieliska, tāpēc to var izmantot alumīnija oksīda keramikai ar tīrību virs 99%.
AES-22S: raksturo augsts formēšanas blīvums un zems saķepināšanas līnijas saraušanās ātrums, to var izmantot slīdveida liešanai un citiem liela mēroga izstrādājumiem ar nepieciešamo izmēru precizitāti.
AES-23 / AES-31-03: Tam ir augstāks formēšanas blīvums, tiksotropija un zemāka viskozitāte nekā AES-22S. Pirmais tiek izmantots keramikā, bet otrais tiek izmantots kā ūdens samazinātājs ugunsdrošos materiālos, iegūstot arvien lielāku popularitāti.
♦Silīcija karbīda (SiC) raksturojums
Vispārīgās īpašības | Galveno sastāvdaļu tīrība (svara%) | 97 | |
Krāsa | Melns | ||
Blīvums (g/cm³) | 3.1 | ||
Ūdens absorbcija (%) | 0 | ||
Mehāniskās īpašības | Lieces izturība (MPa) | 400 | |
Janga modulis (GPa) | 400 | ||
Vikersa cietība (GPa) | 20 | ||
Termiskās īpašības | Maksimālā darba temperatūra (°C) | 1600 | |
Termiskās izplešanās koeficients | Temperatūras temperatūra ~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10⁻⁶) | Temperatūras temperatūra ~ 800 °C | 4.3 | |
Siltumvadītspēja (W/m x K) | 130 110 | ||
Termiskā trieciena izturība ΔT (°C) | 300 | ||
Elektriskās īpašības | Tilpuma pretestība | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektriskā konstante | 10 GHz | - | |
Dielektriskie zudumi (x 10⁻⁴) | - | ||
Q koeficients (x 104) | - | ||
Dielektriskā sabrukšanas spriegums (KV/mm) | - |
♦Silīcija nitrīda keramika
Materiāls | Vienība | Si₃N₄ |
Sintēšanas metode | - | Gāzes spiediena saķepināts |
Blīvums | g/cm³ | 3.22 |
Krāsa | - | Tumši pelēks |
Ūdens absorbcijas ātrums | % | 0 |
Jaunais modulis | Vidējā izglītība (GPA) | 290 |
Vikersa cietība | Vidējā izglītība (GPA) | 18.–20. |
Spiedes izturība | MPa | 2200 |
Lieces izturība | MPa | 650 |
Siltumvadītspēja | W/mK | 25 |
Termiskā trieciena izturība | Δ (°C) | 450–650 |
Maksimālā darba temperatūra | °C | 1200 |
Tilpuma pretestība | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektriskā konstante | - | 8.2 |
Dielektriskā izturība | kV/mm | 16 |