♦ alumīnija oksīda (Al2O3)
Zhonghui inteliģentās ražošanas grupas (ZHHIMG) ražotās precizitātes keramikas detaļas var izgatavot no augstas iztikas keramikas izejvielām, 92 ~ 97% alumīnija oksīda, 99,5% alumīnija oksīda,> 99,9% alumīnija oksīda un CIP aukstā izostatiskā presēšana. Augstas temperatūras saķepināšanas un precizitātes apstrāde, izmēru precizitāte ± 0,001 mm, gludums līdz RA0,1, izmantojiet temperatūru līdz 1600 grādiem. Dažādas keramikas krāsas var izgatavot atbilstoši klientu prasībām, piemēram: melna, balta, smilškrāsas, tumši sarkana utt. Mūsu uzņēmuma ražotās precizitātes keramikas detaļas ir izturīgas pret augstu temperatūru, koroziju, nodilumu un izolāciju, un tās ilgstoši var izmantot augstā temperatūrā, vakuumā un korozīvā gāzes vidē.
Plaši izmanto dažādos pusvadītāju ražošanas aprīkojumā: rāmji (keramikas kronšteins), substrāts (pamatne), rokas/ tilts (manipulators), mehāniskās sastāvdaļas un keramikas gaisa gultnis.
Produkta nosaukums | Augsta tīrība 99 alumīnija oksīda keramikas kvadrātveida caurule / caurule / stienis | |||||
Indekss | Vienība | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Blīvums | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Ūdens absorbcija | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Saķepināta temperatūra | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Cietība | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Liekuma stiprums (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Spiedes stiprums | KGF/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Ilga darba temperatūra | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. Darba temperatūra | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Tilpuma pretestība | 20 ℃ | Ω. cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Augstas tīrības alumīnija oksīda keramikas pielietojums:
1. Piemērots pusvadītāju aprīkojumam: keramikas vakuuma patrona, griešanas disks, tīrīšanas disks, keramikas patrons.
2. Vafeļu pārsūtīšanas detaļas: vafeļu apstrādes čūskas, vafeļu griešanas diski, vafeļu tīrīšanas diski, vafeļu optiskās pārbaudes sūkn tases.
3. LED / LCD plakanā paneļa displeja nozare: keramikas sprausla, keramikas slīpēšanas disks, pacēlāja tapa, tapa sliede.
4. Optiskā komunikācija, saules enerģijas rūpniecība: keramikas caurules, keramikas stieņi, shēmas plates ekrāna drukāšana keramikas skrāpējumi.
5. Siltumizturīgas un elektriski izolējošas detaļas: keramikas gultņi.
Pašlaik alumīnija oksīda keramiku var iedalīt augstā tīrībā un parastā keramikā. Augstās tīrības alumīnija oksīda keramikas sērija attiecas uz keramikas materiālu, kas satur vairāk nekā 99,9% al₂o₃. Sakarā ar to, ka tās saķepināšanas temperatūra ir līdz 1650 - 1990 ° C un tās transmisijas viļņa garums 1 ~ 6μm, to parasti apstrādā kausētā stiklā, nevis platīna tīģelī: ko var izmantot kā nātrija cauruli, pateicoties tās vieglajai caurlaidībai un izturībai pret koroziju pret alkali metālu. Elektronikas nozarē to var izmantot kā augstfrekvences izolācijas materiālu IC substrātiem. Saskaņā ar dažādu alumīnija oksīda saturu parasto alumīnija oksīda keramikas sēriju var iedalīt 99 keramikā, 95 keramikā, 90 keramikā un 85 keramikā. Dažreiz keramika ar 80% vai 75% alumīnija oksīda tiek klasificēta arī kā parastā alumīnija oksīda keramikas sērija. Starp tiem 99 alumīnija oksīda keramikas materiālu izmanto, lai ražotu tīģeli ar augstu temperatūru, ugunsdrošas krāsns cauruli un īpašus nodilumizturīgus materiālus, piemēram, keramikas gultņus, keramikas blīvējumus un vārsta plāksnes. 95 Alumīnija keramiku galvenokārt izmanto kā pret koroziju izturīgu nodilumu izturīgu daļu. 85 keramika bieži tiek sajaukta dažās īpašībās, tādējādi uzlabojot elektrisko veiktspēju un mehānisko izturību. Tas var izmantot molibdēnu, niobium, tantalum un citus metāla blīvējumus, un daži tiek izmantoti kā elektriskās vakuuma ierīces.
Kvalitātes vienums (reprezentatīvā vērtība) | Produkta nosaukums | AES-12 | AES-11 | AES-11c | AES-11f | AES-22 | AES-23 | Al-31-03 | |
Ķīmiskais sastāvs ar zemu nātriju viegli saķepinošu produktu | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Lol | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
Mgo* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Vidēja daļiņu diametrs (MT-3300, lāzera analīzes metode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristāla izmērs | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Veidošanas blīvums ** | G/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sērtēšanas blīvums ** | G/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Sagremdēšanas līnijas ātrums ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO nav iekļauts Al₂o₃ tīrības aprēķinā.
* Nav mērogošanas pulvera 29,4MPa (300 kg/cm²), saķepināšanas temperatūra ir 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: pievienojiet 0,05 ~ 0,1% MGO, saķepināmība ir lieliska, tāpēc tā ir piemērojama alumīnija oksīda keramikai ar tīrību vairāk nekā 99%.
AES-22S: raksturīgs ar augsta formāta blīvumu un zemu saķepināšanas līnijas ātrumu, tas ir piemērojams slīdēšanas formas liešanai un citiem liela mēroga produktiem ar nepieciešamo izmēru precizitāti.
AES-23 / AES-31-03: Tam ir augstāks veidojošs blīvums, tiksotropija un zemāka viskozitāte nekā AES-22S. Pirmais ir pieradis pie keramikas, bet otro tiek izmantots kā ūdens reduktors ugunsdrošiem materiāliem, iegūstot popularitāti.
♦ Silīcija karbīda (sic) īpašības
Vispārējās īpašības | Galveno komponentu tīrība (masas%) | 97 | |
Krāsa | Melns | ||
Blīvums (g/cm³) | 3.1 | ||
Ūdens absorbcija (%) | 0 | ||
Mehāniskās īpašības | Lieces izturība (MPA) | 400 | |
Jauns modulis (GPA) | 400 | ||
Vickers cietība (GPA) | 20 | ||
Termiskās īpašības | Maksimālā darba temperatūra (° C) | 1600 | |
Termiskās izplešanās koeficients | Rt ~ 500 ° C | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | Rt ~ 800 ° C | 4.3 | |
Siltumvadītspēja (ar w/m x k) | 130 110 | ||
Termiskā trieciena rezistence ΔT (° C) | 300 | ||
Elektriskās īpašības | Tilpuma pretestība | 25 ° C | 3 x 106 |
300 ° C | - | ||
500 ° C | - | ||
800 ° C | - | ||
Dielektriska konstante | 10 GHz | - | |
Dielektriskais zudums (x 10-4) | - | ||
Q koeficients (x 104) | - | ||
Dielektriskais sadalīšanās spriegums (KV/mm) | - |
♦ Silīcija nitrīds keramika
Materiāls | Vienība | Si₃n₄ |
Saķepināšanas metode | - | Gāzes spiediens |
Blīvums | G/cm³ | 3.22 |
Krāsa | - | Tumši pelēks |
Ūdens absorbcijas ātrums | % | 0 |
Jauns modulis | GPA | 290 |
Vickers cietība | GPA | 18 - 20 |
Spiedes stiprums | MPA | 2200 |
Liekšanas izturība | MPA | 650 |
Siltumvadītspēja | Ar mk | 25 |
Termiskā trieciena izturība | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maksimālā darba temperatūra | ° C | 1200 |
Tilpuma pretestība | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektriska konstante | - | 8.2 |
Dielektriskā izturība | KV/mm | 16 |