♦ Alumīnija oksīds (Al2O3)
Precīzas keramikas detaļas, ko ražo ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), var izgatavot no augstas tīrības pakāpes keramikas izejvielām, 92–97% alumīnija oksīda, 99,5% alumīnija oksīda,> 99,9% alumīnija oksīda un CIP aukstās izostatiskās presēšanas.Augstas temperatūras saķepināšana un precīza apstrāde, izmēru precizitāte ± 0,001 mm, gludums līdz Ra0,1, lietošanas temperatūra līdz 1600 grādiem.Var izgatavot dažādu krāsu keramiku atbilstoši klientu prasībām, piemēram: melnu, baltu, bēšu, tumši sarkanu utt. Mūsu uzņēmuma ražotās precīzās keramikas detaļas ir izturīgas pret augstu temperatūru, koroziju, nodilumu un izolāciju, un tās var būt ilgstoši izmantots augstā temperatūrā, vakuumā un korozīvās gāzes vidē.
Plaši izmanto dažādās pusvadītāju ražošanas iekārtās: rāmji (keramikas kronšteins), substrāts (bāze), rokturis / tilts (manipulators), mehāniskās sastāvdaļas un keramikas gaisa gultnis.
produkta nosaukums | Augstas tīrības pakāpes 99 alumīnija oksīda keramikas kvadrātveida caurule / caurule / stienis | |||||
Rādītājs | Vienība | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Blīvums | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Ūdens absorbcija | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
Saķepināšanas temperatūra | ℃ | 1620. gads | 1650. gads | 1800. gads | 1800. gads | |
Cietība | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Liekšanas izturība (20℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Saspiešanas spēks | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Ilgstoša darba temperatūra | ℃ | 1350. gads | 1400 | 1600 | 1650. gads | |
Maks.Darba temperatūra | ℃ | 1450. gads | 1600 | 1800. gads | 1800. gads | |
Tilpuma pretestība | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda keramikas pielietojums:
1. Pielietots pusvadītāju iekārtām: keramikas vakuuma patrona, griešanas disks, tīrīšanas disks, keramikas patrona.
2. Vafeļu pārvietošanas daļas: vafeļu apstrādes patronas, vafeļu griešanas diski, vafeļu tīrīšanas diski, vafeļu optiskās pārbaudes piesūcekņi.
3. LED / LCD plakano paneļu displeju nozare: keramikas sprausla, keramikas slīpēšanas disks, LIFT PIN, PIN sliede.
4. Optiskie sakari, saules enerģijas nozare: keramikas caurules, keramikas stieņi, shēmas plates sietspiedes keramikas skrāpji.
5. Karstumizturīgas un elektriski izolējošas daļas: keramikas gultņi.
Pašlaik alumīnija oksīda keramiku var iedalīt augstas tīrības pakāpes un parastajā keramikā.Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda keramikas sērija attiecas uz keramikas materiālu, kas satur vairāk nekā 99,9% Al2O3.Tā kā saķepināšanas temperatūra ir līdz 1650–1990°C un pārraides viļņa garums ir 1–6 μm, to parasti apstrādā kausētā stiklā, nevis platīna tīģelī: ko var izmantot kā nātrija cauruli, pateicoties tā gaismas caurlaidībai un izturībai pret koroziju. sārmu metāls.Elektronikas rūpniecībā to var izmantot kā augstfrekvences izolācijas materiālu IC substrātiem.Atbilstoši dažādam alumīnija oksīda saturam parasto alumīnija oksīda keramikas sēriju var iedalīt 99 keramikas, 95 keramikas, 90 keramikas un 85 keramikas izstrādājumos.Dažreiz keramika ar 80% vai 75% alumīnija oksīda tiek klasificēta arī kā parastā alumīnija oksīda keramikas sērija.Tostarp 99 alumīnija oksīda keramikas materiāls tiek izmantots, lai ražotu augstas temperatūras tīģeli, ugunsdrošu krāsns cauruli un īpašus nodilumizturīgus materiālus, piemēram, keramikas gultņus, keramikas blīves un vārstu plāksnes.95 alumīnija keramiku galvenokārt izmanto kā korozijizturīgu nodilumizturīgu daļu.85 keramika bieži tiek sajaukta ar dažām īpašībām, tādējādi uzlabojot elektrisko veiktspēju un mehānisko izturību.Tajā var izmantot molibdēnu, niobiju, tantalu un citus metāla blīvējumus, un daži tiek izmantoti kā elektriskās vakuuma ierīces.
Kvalitatīva prece (reprezentatīvā vērtība) | produkta nosaukums | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Ķīmiskais sastāvs Viegli saķepināms produkts ar zemu nātrija saturu | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
LOl | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0.04 | 0.04 | |
Na2O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0,02 | 0.04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Vidējs daļiņu diametrs (MT-3300, lāzeranalīzes metode) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristāla izmērs | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Veidošanas blīvums** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Saķepināšanas blīvums** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Saķepināšanas līnijas saraušanās ātrums** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO nav iekļauts Al₂O3 tīrības aprēķinā.
* Bez skalošanas pulvera 29.4MPa (300kg/cm²), saķepināšanas temperatūra ir 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: pievienojiet 0,05–0,1% MgO, saķepināšanas spēja ir lieliska, tāpēc to var izmantot alumīnija oksīda keramikai ar tīrību, kas pārsniedz 99%.
AES-22S: raksturīgs augsts formēšanas blīvums un zems saķepināšanas līnijas saraušanās ātrums, tas ir piemērots slīdēšanas formas liešanai un citiem liela mēroga izstrādājumiem ar nepieciešamo izmēru precizitāti.
AES-23 / AES-31-03: tam ir lielāks veidošanās blīvums, tiksotropija un zemāka viskozitāte nekā AES-22S.pirmais tiek izmantots keramikai, bet otrs tiek izmantots kā ūdens reduktors ugunsdrošības materiāliem, iegūstot popularitāti.
♦Silīcija karbīda (SiC) īpašības
Vispārīgās īpašības | Galveno komponentu tīrība (masas%) | 97 | |
Krāsa | Melns | ||
Blīvums (g/cm³) | 3.1 | ||
Ūdens absorbcija (%) | 0 | ||
Mehāniskās īpašības | Fleksiālā izturība (MPa) | 400 | |
Jaunais modulis (GPa) | 400 | ||
Vickers cietība (GPa) | 20 | ||
Termiskās īpašības | Maksimālā darba temperatūra (°C) | 1600 | |
Termiskās izplešanās koeficients | RT ~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT ~800°C | 4.3 | |
Siltumvadītspēja (W/m x K) | 130 110 | ||
Termiskā trieciena pretestība ΔT (°C) | 300 | ||
Elektriskās īpašības | Tilpuma pretestība | 25°C | 3x106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektriskā konstante | 10 GHz | - | |
Dielektriskie zudumi (x 10-4) | - | ||
Q faktors (x 104) | - | ||
Dielektriskā pārrāvuma spriegums (KV/mm) | - |
♦Silīcija nitrīda keramika
Materiāls | Vienība | Si₃N4 |
Saķepināšanas metode | - | Gāzes spiediens Saķepināts |
Blīvums | g/cm³ | 3.22 |
Krāsa | - | Tumši pelēks |
Ūdens absorbcijas ātrums | % | 0 |
Jaunais Moduls | Gpa | 290 |
Vikersa cietība | Gpa | 18-20 |
Saspiešanas spēks | Mpa | 2200 |
Liekšanas spēks | Mpa | 650 |
Siltumvadītspēja | W/mK | 25 |
Termiskā triecienizturība | Δ (°C) | 450–650 |
Maksimālā darba temperatūra | °C | 1200 |
Tilpuma pretestība | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektriskā konstante | - | 8.2 |
Dielektriskā izturība | kV/mm | 16 |