Granīts jau daudzus gadus tiek plaši izmantots pusvadītāju iekārtu ražošanā un projektēšanā. Tas ir pateicoties tā lieliskajām īpašībām, kas padara to par ideālu materiālu daudziem pielietojumiem. Granīts ir ļoti izturīgs pret nodilumu, koroziju un termiskiem triecieniem, kas padara to piemērotu lietošanai skarbos apstākļos. Šajā rakstā mēs apspriedīsim dažus no izplatītākajiem granīta pielietojumiem pusvadītāju iekārtās.
1. Metroloģijas iekārtas
Metroloģiskās iekārtas tiek izmantotas pusvadītāju ierīču izmēru un īpašību mērīšanai. Granīts bieži tiek izmantots kā šādu iekārtu pamats, pateicoties tā augstajai izmēru stabilitātei. Granīta virsmas līdzenums un precizitāte nodrošina ideālu atskaites punktu precīziem mērījumiem. Turklāt granīta termiskā stabilitāte samazina izmēru izmaiņu risku temperatūras svārstību dēļ.
2. Optiskās iekārtas
Granītu izmanto arī optiskās iekārtās, piemēram, litogrāfijas iekārtās, kuras izmanto pusvadītāju ierīču ražošanā. Granīta pamatne nodrošina stabilu platformu augstas precizitātes optikai, ko izmanto šajās iekārtās. Granīta lieliskās vibrācijas slāpēšanas īpašības arī palīdz samazināt vibrācijas, kas var ietekmēt optikas veiktspēju un precizitāti.
3. Vafeļu apstrādes iekārtas
Pusvadītāju plākšņu apstrāde ietver vairākus soļus, tostarp tīrīšanu, kodināšanu un nogulsnēšanu. Granīts tiek izmantots vairākās plākšņu apstrādes iekārtu sastāvdaļās. Piemēram, granīts tiek izmantots kā substrāts ķīmiskās tvaiku nogulsnēšanas (CVD) iekārtām, ko izmanto plānu kārtiņu uzklāšanai uz silīcija plāksnēm. Granīts tiek izmantots arī kodināšanas kameru un citu procesa trauku konstrukcijā, kur būtiska ir tā lieliskā ķīmiskā izturība un izmēru stabilitāte.
4. Testa aprīkojums
Testa iekārtas tiek izmantotas, lai pārbaudītu pusvadītāju ierīču veiktspēju un kvalitāti. Granīts bieži tiek izmantots kā testa iekārtu pamatne, pateicoties tā augstajai stingrībai un stabilitātei. Granīts nodrošina nemagnētisku un nevadošu platformu, kas novērš traucējumus jutīgām testēšanas iekārtām. Granīta virsmas līdzenums un precizitāte ļauj iegūt ļoti precīzus testa rezultātus.
Secinājums
Noslēgumā jāsaka, ka granīts ir svarīgs materiāls pusvadītāju iekārtu projektēšanā un ražošanā. Tā lieliskās īpašības, tostarp izmēru stabilitāte, termiskā stabilitāte, ķīmiskā izturība un vibrāciju slāpēšana, padara to par ideālu materiālu daudziem pielietojumiem. Granīts tiek izmantots vairākās kritiski svarīgās pusvadītāju iekārtu sastāvdaļās, tostarp metroloģijas iekārtās, optiskajās iekārtās, plākšņu apstrādes iekārtās un testēšanas iekārtās. Tā kā pieprasījums pēc ātrākām, mazākām un jaudīgākām pusvadītāju ierīcēm turpina pieaugt, granīta izmantošana pusvadītāju iekārtās, visticamāk, joprojām būs būtiska.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 8. aprīlis