Granīts jau daudzus gadus ir plaši izmantots pusvadītāju iekārtu ražošanā un projektēšanā.Tas ir saistīts ar tā lieliskajām īpašībām, kas padara to par ideālu materiālu daudziem lietojumiem.Granīts ir ļoti izturīgs pret nodilumu, koroziju un termiskiem triecieniem, kas padara to piemērotu lietošanai skarbos apstākļos.Šajā rakstā mēs apspriedīsim dažus izplatītākos granīta lietojumus pusvadītāju iekārtās.
1. Metroloģijas iekārtas
Pusvadītāju ierīču izmēru un īpašību mērīšanai izmanto metroloģijas iekārtas.Granīts bieži tiek izmantots kā pamats šādām iekārtām tā augstās izmēru stabilitātes dēļ.Granīta virsmas līdzenums un precizitāte nodrošina ideālu atsauci precīziem mērījumiem.Turklāt granīta termiskā stabilitāte samazina izmēru izmaiņu risku temperatūras izmaiņu dēļ.
2. Optiskais aprīkojums
Granītu izmanto arī optiskajās iekārtās, piemēram, litogrāfijas iekārtās, kuras izmanto pusvadītāju ierīču ražošanā.Granīta pamatne nodrošina stabilu platformu šajās iekārtās izmantotajai augstas precizitātes optikai.Granīta lieliskās vibrācijas slāpēšanas īpašības palīdz arī samazināt vibrācijas, kas var ietekmēt optikas veiktspēju un precizitāti.
3. Vafeļu apstrādes iekārtas
Pusvadītāju plāksnīšu apstrāde ietver vairākus posmus, tostarp tīrīšanu, kodināšanu un uzklāšanu.Granīts tiek izmantots vairākos vafeļu apstrādes iekārtu komponentos.Piemēram, granīts tiek izmantots kā substrāts ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) iekārtām, ko izmanto plānu kārtiņu uzklāšanai uz silīcija plāksnēm.Granītu izmanto arī kodināšanas kameru un citu procesu tvertņu konstrukcijā, kur būtiska ir tā izcilā ķīmiskā izturība un izmēru stabilitāte.
4. Testēšanas aprīkojums
Pārbaudes iekārtas tiek izmantotas, lai pārbaudītu pusvadītāju ierīču veiktspēju un kvalitāti.Granītu bieži izmanto kā testēšanas iekārtu pamatu tā augstās stingrības un stabilitātes dēļ.Granīts nodrošina nemagnētisku un nevadošu platformu, kas novērš traucējumus jutīgās testēšanas iekārtās.Granīta virsmas līdzenums un precizitāte ļauj iegūt ļoti precīzus testa rezultātus.
Secinājums
Noslēgumā jāsaka, ka granīts ir svarīgs materiāls pusvadītāju iekārtu projektēšanā un ražošanā.Tā lieliskās īpašības, tostarp izmēru stabilitāte, termiskā stabilitāte, ķīmiskā izturība un vibrāciju slāpēšana, padara to par ideālu materiālu daudziem lietojumiem.Granīts tiek izmantots vairākos kritiskos pusvadītāju iekārtu komponentos, tostarp metroloģijas aprīkojumā, optiskajā aprīkojumā, vafeļu apstrādes iekārtās un testa iekārtās.Tā kā pieprasījums pēc ātrākām, mazākām un jaudīgākām pusvadītāju ierīcēm turpina pieaugt, granīta izmantošana pusvadītāju iekārtās, visticamāk, joprojām būs būtiska.
Publicēšanas laiks: 08.04.2024