Granīts daudzus gadus ir plaši izmantots pusvadītāju aprīkojuma ražošanā un projektēšanā. Tas ir saistīts ar lieliskajām īpašībām, kas padara to par ideālu materiālu daudziem lietojumiem. Granīts ir ļoti izturīgs pret nēsāšanu, koroziju un termiskiem triecieniem, kas padara to piemērotu lietošanai skarbā vidē. Šajā rakstā mēs apspriedīsim dažus no granīta kopīgajiem pielietojumiem pusvadītāju aprīkojumā.
1. Metroloģijas aprīkojums
Metroloģijas aprīkojumu izmanto, lai izmērītu pusvadītāju ierīču izmērus un īpašības. Granītu bieži izmanto kā bāzi šādai iekārtai tā augstās dimensijas stabilitātes dēļ. Granīta virsmas plakanums un precizitāte nodrošina ideālu atsauci precīziem mērījumiem. Turklāt granīta termiskā stabilitāte samazina izmēru izmaiņu risku temperatūras izmaiņu dēļ.
2. Optiskais aprīkojums
Granīts tiek izmantots arī tādās optiskajās iekārtās kā litogrāfijas mašīnas, kuras izmanto pusvadītāju ierīču izgatavošanā. Granīta pamatne nodrošina stabilu platformu šajās mašīnās izmantotajai augstas precizitātes optikai. Granīta lieliskās vibrācijas slāpēšanas īpašības arī palīdz samazināt vibrācijas, kas var ietekmēt optikas veiktspēju un precizitāti.
3. Vafeļu apstrādes aprīkojums
Pusvadītāju vafeļu apstrāde ietver vairākus soļus, ieskaitot tīrīšanu, kodināšanu un nogulsnēšanos. Granīts tiek izmantots vairākos vafeļu apstrādes aprīkojuma komponentos. Piemēram, granītu izmanto kā substrātu ķīmisko tvaiku nogulsnēšanās (CVD) aprīkojumam, ko izmanto, lai novietotu plānas plēves uz silīcija vafelēm. Granīts tiek izmantots arī kodināšanas kameru un citu procesu trauku veidošanā, kur ir būtiska tā lieliskā ķīmiskā izturība un izmēru stabilitāte.
4. Testa aprīkojums
Pārbaudes aprīkojums tiek izmantots, lai pārbaudītu pusvadītāju ierīču veiktspēju un kvalitāti. Granīts bieži tiek izmantots kā pamats testa aprīkojumam tā augstās stingrības un stabilitātes dēļ. Granīts nodrošina nemagnētisku un nevadošu platformu, kas novērš traucējumus ar jutīgu testēšanas aprīkojumu. Granīta virsmas plakanums un precizitāte ļauj iegūt ļoti precīzus testa rezultātus.
Secinājums
Noslēgumā jāsaka, ka granīts ir svarīgs materiāls pusvadītāju aprīkojuma projektēšanā un ražošanā. Tās lieliskās īpašības, ieskaitot izmēru stabilitāti, termisko stabilitāti, ķīmisko izturību un vibrāciju slāpēšanu, padara to par ideālu materiālu daudziem lietojumiem. Granīts tiek izmantots vairākos kritiskos pusvadītāju aprīkojuma komponentos, ieskaitot metroloģijas aprīkojumu, optisko aprīkojumu, vafeļu apstrādes aprīkojumu un testa aprīkojumu. Tā kā pieprasījums pēc ātrākām, mazākām un jaudīgākām pusvadītāju ierīcēm turpina pieaugt, granīta izmantošana pusvadītāju aprīkojumā, visticamāk, joprojām būs būtiska.
Pasta laiks: Apr-08-2024