Augstas klases ražošanas un progresīvas zinātniskās pētniecības jomā precīza statiskā spiediena gaisa peldošās kustības platforma ir galvenais aprīkojums īpaši precīzas darbības sasniegšanai. Granīta precīzā pamatne ir platformas galvenā atbalsta daļa, un tās veiktspēja ir cieši saistīta ar darba vidi. Šo vides prasību izpratne un izpilde var ne tikai nodrošināt platformas augstas precizitātes darbību, bet arī ir svarīga uzņēmuma sastāvdaļa, lai uzlabotu tā konkurētspēju saistītajās jomās, kas sīkāk aprakstītas turpmāk.
1. Temperatūra: precīza kontrole, lai nodrošinātu izmēru stabilitāti
Lai gan granīts ir pazīstams ar savu stabilitāti, tā termiskās izplešanās koeficients nav nulle, un nelielas temperatūras izmaiņas joprojām var ietekmēt tā izmēru precizitāti. Vispārīgi runājot, granīta termiskās izplešanās koeficients ir 5–7 × 10⁻⁶/℃. Precīzas statiskā spiediena gaisa peldošās kustības platformas pielietojuma scenārijā platforma pastiprina šīs nelielās izmaiņas, kas var izraisīt kustības precizitātes novirzi. Piemēram, pusvadītāju mikroshēmu ražošanas procesā litogrāfijas procesā, lai pozicionēšanas precizitātes prasības atbilstu danami līmenim, apkārtējās vides temperatūras svārstībām 1 °C apmērā 1 metra granīta pamatnes sānu garums var radīt 5–7 mikronu lineāru izplešanos vai saraušanos, kas ir pietiekami, lai radītu mikroshēmas litogrāfijas raksta novirzi un samazinātu ražu. Tāpēc precīzai statiskā spiediena gaisa peldošai platformai, kas aprīkota ar granīta precīzijas pamatni, ideālajai darba vides temperatūrai jābūt stingri kontrolētai 20 °C ± 1 °C robežās. Uzņēmumi var uzstādīt augstas precizitātes nemainīgas temperatūras gaisa kondicionēšanas sistēmu, nepārtraukti uzraudzīt un precīzi regulēt apkārtējās vides temperatūru, uzturēt granīta pamatnes izmēru stabilitāti, lai nodrošinātu platformas augstas precizitātes darbību.
2. mitrums: saprātīga kontrole, aizsargājiet bāzes veiktspēju
Mitrumam ir arī būtiska ietekme uz precīzajām granīta pamatnēm. Augsta mitruma vidē granīts viegli absorbē ūdens tvaikus, un uz virsmas var veidoties kondensāts, kas ne tikai traucēs gaisa flotācijas sistēmas normālu darbību, bet arī novedīs pie granīta virsmas ilgstošas erozijas, samazinot tās precizitāti un kalpošanas laiku. Piemēram, optisko lēcu slīpēšanas darbnīcā, ja mitrums ilgstoši ir augstāks par 60% relatīvais mitrums, uz granīta pamatnes virsmas adsorbētie ūdens tvaiki iznīcinās gaisa pludiņa plēves vienmērīgumu, kā rezultātā samazināsies lēcu slīpēšanas precizitāte un radīsies virsmas defekti. Tāpēc darba vides relatīvais mitrums ir jākontrolē no 40% līdz 60% relatīvajam mitrumam. Uzņēmumi var izmantot sausinātājus, mitruma sensorus un citas iekārtas, lai reāllaikā uzraudzītu un kontrolētu mitrumu, izveidotu precīzu granīta pamatni un nodrošinātu precīzu statiskā spiediena gaisa plodošās kustības platformas stabilu darbību.
3. tīrība: stingri kontrolējiet, novērsiet daļiņu traucējumus
Putekļu daļiņas ir precīzas statiskā spiediena gaisa peldošās kustības platformas "ienaidnieks" un nodara lielu kaitējumu granīta precīzajai pamatnei. Kad sīkās daļiņas nonāk gāzes plēves spraugā starp gāzes pludiņa slīdni un granīta pamatni, tās var iznīcināt gāzes plēves vienmērīgumu, palielināt berzi un pat saskrāpēt pamatnes virsmu, nopietni ietekmējot platformas kustības precizitāti. Kosmosa detaļu īpaši precīzas apstrādes darbnīcā, ja gaisā esošās putekļu daļiņas nokrīt uz granīta pamatnes, apstrādes instrumenta kustības trajektorija var novirzīties, ietekmējot detaļu apstrādes precizitāti. Tāpēc darba zona ir jāuztur ļoti tīra un jāsasniedz 10 000 vai pat augstāks tīrības standarts. Uzņēmumi var filtrēt putekļu daļiņas gaisā, uzstādot augstas efektivitātes gaisa filtrus (HEPA), un pieprasīt darbiniekiem valkāt putekļu nesaturošu apģērbu, apavu pārvalkus utt., lai samazinātu cilvēku radīto putekļu daudzumu un uzturētu granīta pamatnes un precīzas statiskā spiediena gaisa peldošās kustības platformas augstas precizitātes darba vidi.
4. Vibrācija: efektīva izolācija, lai radītu vienmērīgu telpu
Ārējās vibrācijas nopietni traucēs precīzās statiskā spiediena gaisa peldošās platformas precizitāti, lai gan precīzās granīta pamatnei ir noteikta vibrācijas vājināšanas spēja, augstas stiprības vibrācija joprojām var pārsniegt tās bufera robežu. Satiksmes radītā vibrācija ap rūpnīcu un lielu mehānisko iekārtu darbība caur zemi tiek pārnesta uz granīta pamatni, kas traucēs platformas kustības precizitāti. Augstas klases KMM vibrācija var izraisīt nestabilu kontaktu starp mērīšanas zondi un mērāmo sagatavi, kā rezultātā mērījumu dati var novirzīties. Lai atrisinātu šo problēmu, ir jāveic efektīvi vibrācijas izolācijas pasākumi, piemēram, vibrācijas izolācijas spilventiņu izvietošana iekārtu uzstādīšanas zonā, vibrācijas izolācijas pamatu izbūve vai aktīvas vibrācijas izolācijas sistēmas izmantošana, lai aktīvi kompensētu ārējo vibrāciju, un jāizveido klusa un stabila darba vide granīta precīzās pamatnes un precīzās statiskā spiediena gaisa peldošās kustības platformai.
Atbilst iepriekš minētajām vides prasībām, lai pilnībā izmantotu granīta precīzās pamatnes priekšrocības precīzā statiskā spiediena gaisa peldošajā kustības platformā, lai nodrošinātu, ka platforma sniedz augstas precizitātes un augstas stabilitātes kustības vadības pakalpojumus dažādām nozarēm. Ja uzņēmumi var pievērst uzmanību šīm detaļām ražošanas vidē, tie izmantos iespējas precīzā ražošanā, zinātniskajā pētniecībā un citās jomās, uzlabos savu konkurētspēju un sasniegs ilgtspējīgu attīstību.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 10. aprīlis