Granīta komponenti ir plaši izmantoti pusvadītāju ražošanas procesā, ņemot vērā to lieliskās īpašības, piemēram, augstāku virsmas apdari, augstu stingrību un lielisku vibrācijas slāpēšanu. Granīta komponenti ir nepieciešami pusvadītāju ražošanas iekārtām, ieskaitot litogrāfijas mašīnas, pulēšanas mašīnas un metroloģijas sistēmas, jo tie ražošanas procesa laikā nodrošina precīzu pozicionēšanu un stabilitāti. Neskatoties uz visām granīta komponentu lietošanas priekšrocībām, tiem ir arī defekti. Šajā rakstā mēs apspriedīsim granīta komponentu defektus pusvadītāju ražošanas procesu produktiem.
Pirmkārt, granīta komponentiem ir augsts termiskās izplešanās koeficients. Tas nozīmē, ka tie ievērojami paplašinās termiskā stresa apstākļos, kas ražošanas procesā varētu izraisīt problēmas. Pusvadītāju ražošanas procesam nepieciešama augsta precizitāte un izmēru precizitāte, ko varētu apdraudēt termiskā sprieguma dēļ. Piemēram, silīcija vafeļu deformācija termiskās izplešanās dēļ litogrāfijas laikā varētu izraisīt izlīdzināšanas problēmas, kas varētu apdraudēt pusvadītāju ierīces kvalitāti.
Otrkārt, granīta komponentiem ir porainības defekti, kas pusvadītāju ražošanas procesā var izraisīt vakuuma noplūdes. Gaisa vai jebkuras citas gāzes klātbūtne sistēmā var izraisīt piesārņojumu uz vafeles virsmas, kā rezultātā rodas defekti, kas varētu ietekmēt pusvadītāja ierīces veiktspēju. Inertas gāzes, piemēram, argons un hēlijs, varētu iesūkties porainos granīta komponentos un radīt gāzes burbuļus, kas varētu traucēt vakuuma procesa integritāti.
Treškārt, granīta komponentiem ir mikrofrakcijas, kas varētu traucēt ražošanas procesa precizitāti. Granīts ir trausls materiāls, kas laika gaitā varētu attīstīt mikrofrakcijas, it īpaši, ja tie ir pakļauti pastāvīgiem stresa cikliem. Mikrofrakciju klātbūtne varētu izraisīt izmēru nestabilitāti, izraisot ievērojamas problēmas ražošanas procesā, piemēram, litogrāfijas izlīdzināšana vai vafeļu pulēšana.
Ceturtkārt, granīta komponentiem ir ierobežota elastība. Pusvadītāju ražošanas procesam ir nepieciešams elastīgs aprīkojums, kas varētu pielāgoties dažādas procesa izmaiņas. Tomēr granīta komponenti ir stingri un nevar pielāgoties dažādām procesa izmaiņām. Tāpēc jebkādām izmaiņām ražošanas procesā ir nepieciešams noņemt vai nomaināt granīta komponentus, izraisot dīkstāvi un ietekmējot produktivitāti.
Piektkārt, granīta komponentiem ir nepieciešama īpaša apstrāde un pārvadāšana to svara un trausluma dēļ. Granīts ir blīvs un smags materiāls, kam nepieciešams specializēts apstrādes aprīkojums, piemēram, celtņi un pacēlāji. Turklāt granīta komponentiem ir nepieciešama rūpīga iesaiņošana un pārvadāšana, lai novērstu bojājumus sūtīšanas laikā, izraisot papildu izmaksas un laiku.
Noslēgumā jāsaka, ka granīta komponentiem ir daži trūkumi, kas varētu ietekmēt pusvadītāju ražošanas procesa produktu kvalitāti un produktivitāti. Šos defektus var samazināt līdz minimumam, rūpīgi apstrādājot un uzturot granīta komponentus, ieskaitot periodisku mikrofrakciju un porainības defektu pārbaudi, pareizu tīrīšanu, lai novērstu piesārņojumu un rūpīgu apstrādi pārvadāšanas laikā. Neskatoties uz defektiem, granīta komponenti joprojām ir būtiska pusvadītāju ražošanas procesa sastāvdaļa, pateicoties to augstākajai virsmas apdarei, augstajai stingrībai un lieliskai vibrācijas slāpēšanai.
Pasta laiks: Dec-05-2023