Granīta komponenti ir plaši izmantoti pusvadītāju ražošanas procesā, pateicoties to lieliskajām īpašībām, piemēram, izcilai virsmas apdarei, augstajai stingrībai un lieliskajai vibrāciju slāpēšanai. Granīta komponenti ir būtiski pusvadītāju ražošanas iekārtām, tostarp litogrāfijas iekārtām, pulēšanas iekārtām un metroloģijas sistēmām, jo tie nodrošina precīzu pozicionēšanu un stabilitāti ražošanas procesā. Neskatoties uz visām granīta komponentu izmantošanas priekšrocībām, tiem ir arī defekti. Šajā rakstā mēs apspriedīsim granīta komponentu defektus pusvadītāju ražošanas procesa produktiem.
Pirmkārt, granīta komponentiem ir augsts termiskās izplešanās koeficients. Tas nozīmē, ka tie ievērojami izplešas termiskās slodzes ietekmē, kas ražošanas procesā var radīt problēmas. Pusvadītāju ražošanas process prasa augstu precizitāti un izmēru precizitāti, ko var apdraudēt termiskā spriedze. Piemēram, silīcija plāksnes deformācija termiskās izplešanās dēļ var radīt izlīdzināšanas problēmas litogrāfijas laikā, kas var pasliktināt pusvadītāju ierīces kvalitāti.
Otrkārt, granīta komponentiem ir porainības defekti, kas pusvadītāju ražošanas procesā varētu izraisīt vakuuma noplūdes. Gaisa vai jebkuras citas gāzes klātbūtne sistēmā varētu izraisīt piesārņojumu uz plāksnes virsmas, kā rezultātā rastos defekti, kas varētu ietekmēt pusvadītāju ierīces darbību. Inertas gāzes, piemēram, argons un hēlijs, varētu iesūkties porainos granīta komponentos un radīt gāzes burbuļus, kas varētu traucēt vakuuma procesa integritāti.
Treškārt, granīta detaļām ir mikroplaisas, kas varētu ietekmēt ražošanas procesa precizitāti. Granīts ir trausls materiāls, kurā laika gaitā var veidoties mikroplaisas, īpaši, ja tas tiek pakļauts pastāvīgiem sprieguma cikliem. Mikroplaisu klātbūtne var izraisīt izmēru nestabilitāti, radot ievērojamas problēmas ražošanas procesā, piemēram, litogrāfijas izlīdzināšanā vai plākšņu pulēšanā.
Ceturtkārt, granīta komponentiem ir ierobežota elastība. Pusvadītāju ražošanas procesam ir nepieciešams elastīgs aprīkojums, kas varētu pielāgoties dažādām procesa izmaiņām. Tomēr granīta komponenti ir stingri un nevar pielāgoties dažādām procesa izmaiņām. Tāpēc jebkādas izmaiņas ražošanas procesā rada nepieciešamību noņemt vai nomainīt granīta komponentus, kas noved pie dīkstāves un ietekmē produktivitāti.
Piektkārt, granīta detaļām to svara un trausluma dēļ ir nepieciešama īpaša apstrāde un transportēšana. Granīts ir blīvs un smags materiāls, kam nepieciešams specializēts apstrādes aprīkojums, piemēram, celtņi un pacēlāji. Turklāt granīta detaļām ir nepieciešama rūpīga iepakošana un transportēšana, lai novērstu bojājumus transportēšanas laikā, kas rada papildu izmaksas un laiku.
Noslēgumā jāsaka, ka granīta komponentiem ir daži trūkumi, kas varētu ietekmēt pusvadītāju ražošanas procesa produktu kvalitāti un produktivitāti. Šos defektus varētu samazināt, rūpīgi apstrādājot un uzturot granīta komponentus, tostarp periodiski pārbaudot, vai nav mikroplaisu un porainības defektu, pienācīgi tīrot, lai novērstu piesārņojumu, un rūpīgi apstrādājot transportēšanas laikā. Neskatoties uz defektiem, granīta komponenti joprojām ir būtiska pusvadītāju ražošanas procesa sastāvdaļa, pateicoties to izcilajai virsmas apdarei, augstajai stingrībai un lieliskajai vibrācijas slāpēšanai.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 5. decembris