Granīta sastāvdaļas ir plaši izmantotas pusvadītāju ražošanas procesā, pateicoties to izcilajām īpašībām, piemēram, izcilai virsmas apdarei, augstajai stingrībai un lieliskajai vibrāciju slāpēšanai.Granīta sastāvdaļas ir būtiskas pusvadītāju ražošanas iekārtām, tostarp litogrāfijas mašīnām, pulēšanas mašīnām un metroloģijas sistēmām, jo tās nodrošina precīzu pozicionēšanu un stabilitāti ražošanas procesa laikā.Neskatoties uz visām granīta komponentu izmantošanas priekšrocībām, tiem ir arī defekti.Šajā rakstā mēs apspriedīsim pusvadītāju ražošanas procesa produktu granīta komponentu defektus.
Pirmkārt, granīta komponentiem ir augsts termiskās izplešanās koeficients.Tas nozīmē, ka tie ievērojami izplešas termiskā stresa ietekmē, kas var radīt problēmas ražošanas procesā.Pusvadītāju ražošanas procesā ir nepieciešama augsta precizitāte un izmēru precizitāte, ko var apdraudēt termiskais stress.Piemēram, silīcija plāksnīšu deformācija termiskās izplešanās dēļ var izraisīt izlīdzināšanas problēmas litogrāfijas laikā, kas var apdraudēt pusvadītāju ierīces kvalitāti.
Otrkārt, granīta komponentiem ir porainības defekti, kas var izraisīt vakuuma noplūdes pusvadītāju ražošanas procesā.Gaisa vai jebkuras citas gāzes klātbūtne sistēmā var izraisīt vafeles virsmas piesārņojumu, kā rezultātā var rasties defekti, kas var ietekmēt pusvadītāju ierīces darbību.Inertās gāzes, piemēram, argons un hēlijs, var iekļūt porainos granīta komponentos un radīt gāzes burbuļus, kas varētu traucēt vakuuma procesa integritāti.
Treškārt, granīta komponentiem ir mikrolūzumi, kas varētu traucēt ražošanas procesa precizitāti.Granīts ir trausls materiāls, kurā laika gaitā var veidoties mikrolūzumi, īpaši, ja tas tiek pakļauts pastāvīgiem sprieguma cikliem.Mikrolūzumu klātbūtne var izraisīt izmēru nestabilitāti, radot būtiskas problēmas ražošanas procesā, piemēram, litogrāfijas izlīdzināšanu vai vafeļu pulēšanu.
Ceturtkārt, granīta komponentiem ir ierobežota elastība.Pusvadītāju ražošanas procesā ir nepieciešams elastīgs aprīkojums, kas varētu pielāgoties dažādām procesa izmaiņām.Tomēr granīta sastāvdaļas ir stingras un nevar pielāgoties dažādām procesa izmaiņām.Tāpēc jebkuras izmaiņas ražošanas procesā rada nepieciešamību noņemt vai nomainīt granīta sastāvdaļas, kas noved pie dīkstāves un ietekmē produktivitāti.
Piektkārt, granīta detaļām ir nepieciešama īpaša apstrāde un transportēšana to svara un trausluma dēļ.Granīts ir blīvs un smags materiāls, kam nepieciešamas specializētas pārvietošanas iekārtas, piemēram, celtņi un pacēlāji.Turklāt granīta komponentiem ir nepieciešama rūpīga iepakošana un transportēšana, lai novērstu bojājumus sūtīšanas laikā, radot papildu izmaksas un laiku.
Visbeidzot, granīta komponentiem ir daži trūkumi, kas var ietekmēt pusvadītāju ražošanas procesa produktu kvalitāti un produktivitāti.Šos defektus var samazināt, rūpīgi apstrādājot un apkopjot granīta komponentus, tostarp periodiski pārbaudot mikrolūzumus un porainības defektus, pienācīgi tīrot, lai novērstu piesārņojumu, un rūpīgi rīkojoties transportēšanas laikā.Neskatoties uz defektiem, granīta sastāvdaļas joprojām ir būtiska pusvadītāju ražošanas procesa sastāvdaļa, pateicoties to izcilajai virsmas apdarei, augstajai stingrībai un lieliskajai vibrāciju slāpēšanai.
Izlikšanas laiks: Dec-05-2023