Granīts ir cieto iežu veids, kas ir kļuvis par neaizstājamu materiālu pusvadītāju ražošanas nozarē. Tā īpašības ļauj tam izturēt augstu temperatūru, kas padara to ideāli piemērotu izmantošanai dažādos pusvadītāju ierīču ražošanas procesu posmos. Tā rezultātā granīta montāža ir atradusi plašu pielietojumu pusvadītāju ražošanas procesa ierīču izstrādājumos.
Viens no visbiežāk izmantotajiem granīta montāžas pielietojumiem ir augstas precizitātes darbgaldu konstrukciju būvniecība. Granīta stingrība un stabilitāte ļauj ražot precīzus un akurātus instrumentus ar nelielu deformāciju vai bez tās. Šāds precizitātes līmenis ir nepieciešams pusvadītāju ražošanas procesos, piemēram, jonu implantācijā, kur stars ir precīzi jāvirza uz plāksnītes.
Vēl viens granīta montāžas pielietojums pusvadītāju ražošanā ir metroloģijas iekārtu būvniecība. Metroloģijas iekārtas ir ļoti svarīgas pusvadītāju ražošanas procesos, jo tās mēra un pārbauda ražojamo ierīču precizitāti. Granīta izmēru stabilitāte, zemā termiskā izplešanās un lieliskās vibrācijas slāpēšanas īpašības padara to par izvēles materiālu metroloģijas iekārtu būvniecībā. Tas ietver lielas granīta virsmas, ko izmanto plākšņu izvietošanai un pārbaudei.
Optiskie galdi ir vēl viena plaša granīta montāžas pielietojuma joma pusvadītāju rūpniecībā. Optiskie galdi tiek izmantoti optisko ierīču, piemēram, datu pārraides viļņvadu, testēšanā. Granīta līdzenums, zemā termiskā izplešanās, augstā stingrība un mehāniskā stabilitāte ļauj tam nodrošināt ļoti stabilu virsmu optikas montāžai un pozicionēšanai. Granīta optiskie galdi var nodrošināt stabilitāti un stingrību, kas nepieciešama precīzai optisko ierīču testēšanai.
Granīts tiek izmantots arī plākšņu patronu un pakāpju konstrukcijā. Pusvadītāju ražošanas procesā precīza izlīdzināšana un pozīcijas kontrole ir ļoti svarīga. Plākšņu patronām, kas apstrādes laikā notur plāksnītes vietā, ir jāuztur pozīcijas precizitāte, izturot augstu temperatūru un vakuuma apstākļus. Granītam ir lieliska izmēru stabilitāte plašā temperatūru diapazonā un tas var izturēt vakuuma apstākļus, padarot to ideāli piemērotu plākšņu patronu konstrukcijai. Pakāpes, ko izmanto plākšņu pārvietošanai no vienas pozīcijas uz otru, pusvadītāju ražošanas procesā iziet cauri cikliskai kustību secībai. Granīta montāža nodrošina stabilitāti un izturību, kas nepieciešama, lai izturētu nepārtrauktus un atkārtotus kustības ciklus.
Rezumējot, granīta montāžas pielietojums pusvadītāju ražošanas nozarē ir plašs. Tā īpašības, piemēram, izmēru stabilitāte, zema termiskā izplešanās, augsta stingrība un vibrāciju slāpēšana, padara to par ideālu materiālu izmantošanai dažādos pusvadītāju ierīču ražošanas procesu posmos. Sākot ar augstas precizitātes darbgaldu un metroloģijas iekārtu konstrukciju un beidzot ar optiskajiem galdiem un vafeļu posmiem un patronām, granīta īpašībām ir izšķiroša nozīme stabilitātes, precizitātes un atkārtojamības nodrošināšanā, kas nepieciešama augstas kvalitātes pusvadītāju ierīču ražošanai.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 6. decembris