Pusvadītāju nozarē vafeļu pārbaude ir galvenā saikne, lai nodrošinātu mikroshēmas kvalitāti un veiktspēju, un pārbaudes galda precizitātei un stabilitātei ir izšķiroša loma noteikšanas rezultātos. Granīta pamatne ar savām unikālajām īpašībām kļūst par ideālu izvēli pusvadītāju vafeļu pārbaudes galdam, kas sniedz jums daudzdimensionālu analīzi.
Pirmkārt, precizitātes garantijas dimensija
1. Īpaši augsts līdzenums un taisnums: Granīta pamatne tiek apstrādāta, izmantojot progresīvu apstrādes tehnoloģiju, un līdzenums var sasniegt ±0,001 mm/m vai pat lielāku precizitāti, un taisnums ir arī lielisks. Vafeles pārbaudes procesā augstas precizitātes plakne nodrošina stabilu atbalstu vafelei un nodrošina precīzu kontaktu starp pārbaudes iekārtas zondi un lodējuma savienojumiem uz vafeles virsmas.
2. Ļoti zems termiskās izplešanās koeficients: pusvadītāju ražošana ir jutīga pret temperatūras izmaiņām, un granīta termiskās izplešanās koeficients ir ārkārtīgi zems, parasti aptuveni 5 × 10⁻⁶/℃. Kad detektēšanas platforma darbojas, pat ja apkārtējās vides temperatūra svārstās, granīta pamatnes izmērs mainās ļoti maz. Piemēram, vasarā augstas temperatūras darbnīcā parastās metāla pamatnes detektēšanas platformas temperatūra var izraisīt plāksnes un detektēšanas iekārtu relatīvā stāvokļa nobīdi, ietekmējot detektēšanas precizitāti; Granīta pamatnes detektēšanas platforma var saglabāt stabilitāti, nodrošināt plāksnes un detektēšanas iekārtu relatīvo pozīcijas precizitāti detektēšanas procesa laikā un nodrošināt stabilu vidi augstas precizitātes detektēšanai.
Otrkārt, stabilitātes dimensija
1. Stabila struktūra un vibrācijas izturība: Granīta iekšējā struktūra pēc miljoniem gadu ilgiem ģeoloģiskiem procesiem ir blīva un vienmērīga. Pusvadītāju rūpnīcas sarežģītajā vidē granīta pamatne efektīvi mazina vibrāciju, ko rada perifērijas iekārtu darbība un apkārt staigājošais personāls.
2. Ilgtermiņa lietošanas precizitāte: salīdzinot ar citiem materiāliem, granītam ir augsta cietība, spēcīga nodilumizturība, un Mosa cietība var sasniegt 6–7. Granīta pamatnes virsma nav viegli nodilstoša biežas plākšņu iekraušanas, izkraušanas un pārbaudes laikā. Saskaņā ar faktisko datu statistikas izmantošanu, izmantojot granīta pamatnes testēšanas tabulu, nepārtraukti darbojoties pēc 5000 stundām, līdzenuma un taisnuma precizitāti joprojām var saglabāt vairāk nekā 98% no sākotnējās precizitātes, samazinot iekārtas pamatnes nodilumu, ko izraisa regulāra kalibrēšana un apkope, samazinot uzņēmuma darbības izmaksas, lai nodrošinātu testēšanas darba ilgtermiņa stabilitāti.
Treškārt, tīra un pret traucējumiem vērsta dimensija
1. Zema putekļu veidošanās: pusvadītāju ražošanas videi jābūt ļoti tīrai, un pats granīta materiāls ir stabils un tajā nav viegli veidojamas putekļu daļiņas. Testa platformas darbības laikā tiek novērsts, ka pamatnes radītie putekļi piesārņo vafeļu, un tiek samazināts putekļu daļiņu izraisīta īsslēguma un pārtrauktas ķēdes risks. Bezputekļu darbnīcas vafeļu pārbaudes zonā putekļu koncentrācija ap granīta pamatnes pārbaudes galdu vienmēr tiek kontrolēta ārkārtīgi zemā līmenī, atbilstot stingrajām pusvadītāju nozares tīrības prasībām.
2. Nav magnētisku traucējumu: detektēšanas iekārta ir jutīga pret elektromagnētisko vidi, un granīts ir nemagnētisks materiāls, kas netraucēs detektēšanas iekārtas elektronisko signālu. Izmantojot elektronu staru detektēšanas un citas testēšanas tehnoloģijas, kurām nepieciešama ārkārtīgi augsta elektromagnētiskā vide, granīta pamatne nodrošina detektēšanas iekārtas elektroniskā signāla stabilu pārraidi un nodrošina testa rezultātu precizitāti. Piemēram, testējot vafeles augstas precizitātes elektrisko veiktspēju, nemagnētiskā granīta pamatne novērš traucējumus detektēšanas strāvas un sprieguma signālos, lai detektēšanas dati patiesi atspoguļotu vafeles elektriskās īpašības.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 31. marts