Lai gan granīta platforma var šķist vienkārša akmens plāksne, pārejot no parastajiem rūpnieciskajiem pielietojumiem uz augstas likmes optisko pārbaudi un metroloģiju, atlases kritēriji krasi mainās. Uzņēmumam ZHHIMG® piegādāt precīzus komponentus pasaules līderiem pusvadītāju un lāzertehnoloģiju jomā nozīmē atzīt, ka optisko mērījumu platforma nav tikai pamats — tā ir neatņemama, neapstrīdama optiskās sistēmas sastāvdaļa.
Optiskās pārbaudes prasības, kas ietver attēlveidošanu ar lielu palielinājumu, lāzerskenēšanu un interferometriju, ir noteiktas ar nepieciešamību novērst visus mērījumu trokšņa avotus. Tas noved pie trīs īpašu īpašību uzmanības pievēršanas, kas atšķir patiesu optisko platformu no standarta rūpnieciskās platformas.
1. Augstāks blīvums nepārspējamai vibrāciju slāpēšanai
Standarta rūpnieciskajām CNC pamatnēm čuguns vai tipisks granīts varētu nodrošināt pietiekamu stingrību. Tomēr optiskās iekārtas ir ārkārtīgi jutīgas pret nelielām nobīdēm, ko izraisa ārējas vibrācijas no rūpnīcas iekārtām, gaisa apstrādes sistēmām vai pat attālas satiksmes.
Šeit materiālzinātne kļūst ārkārtīgi svarīga. Optiskai platformai ir nepieciešams granīts ar izcilu materiāla iekšējo slāpēšanu. ZHHIMG® izmanto savu patentēto ZHHIMG® melno granītu (≈ 3100 kg/m³). Šim īpaši augsta blīvuma materiālam, atšķirībā no zemākas kvalitātes granīta vai marmora aizstājējiem, ir kristāliska struktūra, kas ļoti efektīvi izkliedē mehānisko enerģiju. Mērķis ir ne tikai samazināt vibrāciju, bet arī nodrošināt, lai pamatne paliktu pilnīgi klusa mehāniskā grīda, samazinot relatīvo kustību starp objektīva lēcu un pārbaudāmo paraugu submikronu līmenī.
2. Īpaša termiskā stabilitāte, lai cīnītos pret dreifu
Standarta rūpnieciskās platformas pieļauj nelielas izmēru izmaiņas; desmitdaļa no Celsija grāda var nebūt svarīga urbšanai. Taču optiskajās sistēmās, kas veic precīzus mērījumus ilgstošā laika periodā, jebkura termiskā nobīde pamatnes ģeometrijā rada sistemātisku kļūdu.
Optiskajai pārbaudei platformai ir jādarbojas kā siltuma absorbētājam ar ārkārtīgi zemu termiskās izplešanās koeficientu (CTE). ZHHIMG® melnā granīta lielā masa un blīvums nodrošina nepieciešamo termisko inerci, lai pretotos nelielai izplešanās un saraušanās, kas var rasties klimatkontrolētā telpā. Šī stabilitāte nodrošina, ka kalibrētais fokusa attālums un optisko komponentu plaknes izlīdzinājums paliek nemainīgs, garantējot mērījumu integritāti vairāku stundu garumā, kas ir neapstrīdams faktors augstas izšķirtspējas vafeļu pārbaudē vai plakanā paneļa displeju metroloģijā.
3. Nano līmeņa līdzenuma un ģeometriskās precizitātes sasniegšana
Visredzamākā atšķirība ir prasība pēc līdzenuma. Lai gan parasta rūpnieciskā bāze var atbilst 1. vai 0. pakāpes līdzenumam (mērot dažos mikronos), optiskajām sistēmām ir nepieciešama precizitāte nanometru diapazonā. Šis ģeometriskās pilnības līmenis ir nepieciešams, lai nodrošinātu uzticamu atskaites plakni lineārajiem podiem un autofokusa sistēmām, kas darbojas pēc gaismas interferences principiem.
Nanometra līmeņa līdzenuma sasniegšanai un sertificēšanai ir nepieciešama pavisam cita ražošanas pieeja. Tas ietver ļoti specializētas metodes, izmantojot modernas iekārtas, piemēram, Taiwan Nanter slīpmašīnas, un to apstiprina sarežģīts metroloģijas aprīkojums, piemēram, Renishaw lāzerinterferometri. Šim procesam jānotiek īpaši stabilā vidē, piemēram, ZHHIMG® vibrācijas slāpētās, klimata kontrolētās darbnīcās, kur pat smalkās gaisa kustības ir samazinātas līdz minimumam.
Būtībā granīta precīzās platformas izvēle optiskajai pārbaudei ir lēmums ieguldīt komponentā, kas aktīvi garantē paša optiskā mērījuma precizitāti. Tas prasa sadarbību ar ražotāju, kurš ISO 9001 sertifikāciju un visaptverošu izmēru izsekojamību uzskata nevis par izvēles funkcijām, bet gan par pamatprasībām, lai iekļūtu īpaši precīzas optikas pasaulē.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 21. oktobris