Precīzā pusvadītāju ražošanas ķēdē vafeļu pārneses sistēma ir kā "mikroshēmu ražošanas līnijas glābšanas riņķis", un tās stabilitāte un precizitāte tieši nosaka mikroshēmu ražas līmeni. Jaunās paaudzes vafeļu pārneses sistēmas revolucionāri apvieno lineāros motorus ar granīta pamatnēm, un granīta materiālu unikālās priekšrocības ir tieši galvenais kods augstas veiktspējas pārraides atbloķēšanai.
Granīta pamatne: "Akmenscieta pamata" veidošana stabilai pārraidei
Granīts, kas ir piedzīvojis simtiem miljonu gadu ilgu ģeoloģisku pilnveidošanos, izceļas ar blīvu un vienmērīgu iekšējo minerālu kristalizāciju. Šī dabiskā īpašība padara to par ideālu pamatmateriālu plākšņu pārneses sistēmām. Pusvadītāju tīrtelpu sarežģītajā vidē granīts ar īpaši zemu termiskās izplešanās koeficientu (tikai 5–7 × 10⁻⁶/℃) var pretoties iekārtu darbības laikā radītajam siltumam un apkārtējās vides temperatūras izmaiņu ietekmei, nodrošinot pamatnes izmēra stabilitāti un novēršot termiskās deformācijas izraisītu pārraides ceļa novirzi. Tā izcilā vibrāciju slāpēšanas veiktspēja var ātri absorbēt mehāniskās vibrācijas, kas rodas lineāro motoru iedarbināšanas, izslēgšanas un paātrināšanas laikā, kā arī ārējos traucējumus, ko rada citu darbnīcā esošo iekārtu darbība, nodrošinot stabilu platformu ar "nulles vibrāciju" plākšņu pārnešanai.
Tikmēr granīta ķīmiskā stabilitāte nodrošina, ka tas nerūsē un nekorodē pusvadītāju darbnīcās, kur skābju un sārmu reaģenti ir gaistoši un nepieciešama augsta tīrība, tādējādi novēršot materiāla novecošanās vai piesārņotāju adsorbcijas ietekmi uz pārraides precizitāti. Gludās un blīvās virsmas īpašības var efektīvāk samazināt putekļu saķeri, atbilstot stingrajiem tīrtelpu bezputekļu standartiem un novēršot plākšņu piesārņojuma risku no saknes.
Lineāro motoru un granīta "zelta partnerības" efekts
Lineārie motori, kam piemīt mehāniskās transmisijas klīrensa neesamība, liels paātrinājums un augsta reakcijas ātrums, nodrošina vafeļu pārraidi ar "ātras, precīzas un stabilas" priekšrocībām. Granīta pamatne nodrošina tai stabilu un uzticamu atbalsta platformu. Abi darbojas kopā, lai panāktu veiktspējas lēcienu. Kad lineārais motors darbina vafeļu nesēju, lai tas darbotos pa granīta pamatnes sliedi, pamatnes spēcīgā stingrība un stabilitāte nodrošina efektīvu motora piedziņas spēka pārraidi, izvairoties no spēka zudumiem vai pārraides aiztures, ko izraisa pamatnes deformācija.
Lineārie motori, kurus virza pieprasījums pēc nanoskalas precizitātes, var sasniegt submikrona līmeņa pārvietojuma kontroli. Granīta pamatņu augstas precizitātes apstrādes raksturlielumi (ar plakanuma kļūdu kontroli ±1 μm robežās) lieliski atbilst lineāro motoru precīzajai vadībai, kopīgi nodrošinot, ka pozicionēšanas kļūda vafeļu pārraides laikā ir mazāka par ±5 μm. Neatkarīgi no tā, vai tā ir ātrgaitas pārvietošanās starp dažādām procesa iekārtām vai precīza novietošana vafeļu nodošanai, lineāro motoru un granīta pamatņu kombinācija var nodrošināt "nulles novirzi un nulles svārstības" vafeļu pārraidē.
Nozares prakses pārbaude: divkāršs efektivitātes un ražas līmeņa uzlabojums
Pēc savas plākšņu pārneses sistēmas modernizācijas vadošais pasaules pusvadītāju uzņēmums ieviesa lineārā motora un granīta pamatnes risinājumu, kas palielināja plākšņu pārneses efektivitāti par 40 %, samazināja tādu kļūmju kā sadursmju un nobīdes rašanās biežumu pārneses procesā par 85 % un uzlaboja kopējo mikroshēmu ražas līmeni par 6 %. Aiz šiem datiem slēpjas granīta pamatnes nodrošinātā pārraides stabilitātes garantija un lineārā motora ātrdarbīgais un precīzais sinerģijas efekts, kas ievērojami samazina zudumus un kļūdas plākšņu pārneses procesā.
No materiālu īpašībām līdz precīzai ražošanai, no veiktspējas priekšrocībām līdz praktiskai pārbaudei, lineāro motoru un granīta pamatņu kombinācija ir no jauna definējusi vafeļu pārneses sistēmu standartus. Nākotnē, kad pusvadītāju tehnoloģija attīstīsies 3 nm un 2 nm procesu virzienā, granīta materiāli ar savām neaizstājamajām priekšrocībām noteikti turpinās sniegt spēcīgu impulsu nozares attīstībai.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 14. maijs