Granīta slānis ir svarīga sastāvdaļa dažādās pusvadītāju ierīcēs. Kā ļoti stabils un stingrs materiāls, granīts tiek plaši izmantots kā pamats pusvadītāju apstrādes iekārtām. To raksturo zems termiskās izplešanās koeficients, augsta izmēru stabilitāte un lieliskas mehāniskās īpašības. Šo īpašību dēļ granīta slānis visbiežāk tiek izmantots trīs dažādu veidu pusvadītāju ierīcēs - metroloģijas iekārtās, litogrāfijas iekārtās un pārbaudes iekārtās.
Metroloģijas iekārtas tiek izmantotas pusvadītāju ierīču kritisko izmēru mērīšanai un noteikšanai. Tām ir izšķiroša nozīme pusvadītāju ražošanas procesa kvalitātes un konsekvences uzturēšanā. Metroloģijas iekārtas ietver tādus instrumentus kā optiskie mikroskopi, elektronmikroskopi un atomspēka mikroskopi (AFM). Tā kā šo mērinstrumentu veiktspēja ir atkarīga no to stabilitātes, precizitātes un vibrācijas izturības, granīts ir ideāla izvēle to pamatnes materiālam. Granīta pamatnes vienmērīgums un stabilitāte nodrošina stabilu platformu instrumentiem, kas uzlabo to precizitāti un uzticamību.
Litogrāfijas iekārtas tiek izmantotas, lai uz vafeles izveidotu mikroshēmu rakstus. Litogrāfijas procesam ir nepieciešams augsts precizitātes līmenis, lai izveidotu sarežģītas shēmas un uzlabotu mikroshēmas veiktspēju. Litogrāfijas iekārtas ietver soļu un skeneru sistēmas, kas izmanto gaismu, lai pārnestu attēlus uz vafeles. Tā kā litogrāfijas process ir ļoti jutīgs pret vibrācijām un termiskām izmaiņām, augstas kvalitātes gulta ir būtiska, lai nodrošinātu litogrāfijas procesa stabilitāti un atkārtojamību. Granīta gultnes nodrošina litogrāfijas sistēmām nepieciešamo stabilitāti un stingru vibrāciju slāpēšanas veiktspēju. Granīta gulta ļauj soļu vai skenera sistēmai saglabāt precīzas telpiskās attiecības, nodrošinot augstu precizitāti un gala produkta kvalitāti.
Pārbaudes iekārtas tiek izmantotas, lai atklātu jebkādus defektus pusvadītāju ierīcēs. Pārbaudes iekārtas ietver tādas sistēmas kā lāzera skenēšanas mikroskopi, elektronmikroskopi un optiskie mikroskopi. Tā kā šīm ierīcēm jābūt ļoti precīzām, stabilām un vibrācijas izturīgām, granīta pamatnes ir ideāls materiāls. Granīta mehāniskās īpašības un izmēru stabilitāte palīdz vibrācijas izolācijā, kas uzlabo pārbaudes iekārtu rezultātu precizitāti.
Noslēgumā jāsaka, ka granīta pamatne ir ļoti svarīga pusvadītāju rūpniecībai un tiek plaši izmantota dažāda veida iekārtās. Tā unikālās īpašības, piemēram, izmēru stabilitāte, zems termiskās izplešanās koeficients un lieliska mehāniskā stabilitāte, padara granītu par ideālu izvēli pusvadītāju iekārtu pamatnes materiālam. Tā kā augstas kvalitātes granīta pamatne nodrošina nepieciešamo stabilitāti, precizitāti un vibrācijas izturību pusvadītāju iekārtām, tā galu galā uzlabo gatavā produkta kvalitāti. Tāpēc granīta pamatnes izmantošana pusvadītāju iekārtās noteikti turpināsies vēl gadiem ilgi.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 3. aprīlis