Granīta materiāli tiek plaši izmantoti pusvadītāju rūpniecībā, pateicoties to lieliskām īpašībām, piemēram, augstai stabilitātei, zemai termiskai izplešanai un augstai izturībai pret koroziju.Šīs īpašības padara granītu par ideālu materiālu augstas precizitātes komponentu veidošanai vafeļu pārneses sistēmā.
Pusvadītāju ražošanas procesā vafeļu pārneses sistēmai ir izšķiroša nozīme plāksnīšu transportēšanā dažādos ražošanas procesa posmos.Precizitāte un precizitāte ir galvenās prasības šīm sistēmām, jo pat nelielas novirzes var apdraudēt visu procesu.Tāpēc vafeļu pārneses sistēmas komponentiem jābūt izgatavotiem no augstas kvalitātes materiāliem, un granīts atbilst šiem kritērijiem.
Dažas vafeļu pārneses sistēmas daļas, kas izgatavotas no granīta materiāliem, ietver:
1. Vakuuma patronas galds
Vakuuma patronas galds tiek izmantots vafeles noturēšanai procesa laikā, un tam jābūt ar stabilu virsmu, lai nodrošinātu, ka vafele nav bojāta.Granīts ir ideāls materiāls šī galda izgatavošanai, jo tam ir plakana, neporaina virsma, kas nodrošina augstu stabilitāti un precizitāti.Turklāt granītam ir zems termiskās izplešanās koeficients, kas padara to izturīgu pret temperatūras izmaiņām, kas var izraisīt vafeles izmēru izmaiņas.
2. Gaisa nesošā stadija
Gaisa nesošā stadija tiek izmantota, lai vafeles transportētu dažādos ražošanas procesa posmos.Skatuve ir konstruēta tā, lai nodrošinātu kustību bez berzes, kas prasa augstu precizitāti un stabilitāti.Šajā pielietojumā tiek izmantots granīts, jo tas ir stingrs un ciets akmens, kas laika gaitā iztur deformāciju un nodilumu.
3. Lineārās kustības vadotnes
Lineārās kustības vadotnes tiek izmantotas, lai vadītu gaisa nesošo posmu, un tām jābūt precīzi novietotām, lai samazinātu kļūdas.Šīs rokasgrāmatas veidošanai tiek izmantots granīts, jo tam ir lieliska mehāniskā stabilitāte un izturība.Materiāls ir arī izturīgs pret koroziju, kas nodrošina vadotnes sistēmas ilgmūžību.
4. Metroloģijas iekārtas
Metroloģijas iekārtas tiek izmantotas, lai izmērītu vafeles izmērus un īpašības ražošanas procesā.Granīts ir ideāls materiāls šīs iekārtas būvēšanai, jo tam ir augsta stingrība, maza izplešanās un minimāla deformācija slodzes ietekmē.Turklāt granīta termiskā stabilitāte nodrošina, ka metroloģijas aprīkojums laika gaitā paliek stabils un precīzs.
Noslēgumā jāsaka, ka pusvadītāju rūpniecība paļaujas uz precizitāti un precizitāti, un granīta materiāli ir izrādījušies ļoti uzticami un stabili ražošanas procesā.Tā kā vafeļu pārneses sistēmā ir daudz kritisku komponentu, kam nepieciešama augsta stabilitāte, precizitāte un zema termiskā izplešanās, inženieri ir pievērsušies granīta materiāliem, lai izpildītu šīs kritiskās prasības.
Izlikšanas laiks: 19.03.2024