Granīta materiālus plaši izmanto pusvadītāju nozarē, pateicoties to lieliskajām īpašībām, piemēram, augstu stabilitāti, zemu termisko izplešanos un augstu izturību pret koroziju. Šīs īpašības padara granītu par ideālu materiālu augstas precizitātes komponentu celtniecībai vafeļu pārneses sistēmā.
Pusvadītāju ražošanas procesā vafeļu pārsūtīšanas sistēmai ir kritiska loma vafeļu pārvadāšanā dažādos ražošanas procesa posmos. Precizitāte un precizitāte ir būtiskas prasības šīm sistēmām, jo pat nelielas novirzes varētu apdraudēt visu procesu. Tāpēc Vafeļu pārneses sistēmas komponenti jāizgatavo no augstas kvalitātes materiāliem, un granīts atbilst šiem kritērijiem.
Dažas vafeļu pārnešanas sistēmas daļas, kas izgatavotas no granīta materiāliem, ir:
1. Vakuuma patrona galds
Vakuuma patrona galds tiek izmantots, lai procesa laikā noturētu vafeļu, un tam jābūt stabilai virsmai, lai pārliecinātos, ka vafele nav bojāta. Granīts ir ideāls materiāls šī galda izgatavošanai, jo tam ir plakana, neporaina virsma, kas nodrošina augstu stabilitāti un precizitāti. Turklāt granītam ir zems termiskās izplešanās koeficients, padarot to izturīgu pret temperatūras izmaiņām, kas varētu izraisīt izmēru izmaiņas vafelē.
2. Gaisa nesošā stadija
Gaisa nesošo stadiju izmanto, lai pārvadātu vafeļu dažādos ražošanas procesa posmos. Skatuve ir izstrādāta tā, lai nodrošinātu bez berzes kustību, kurai nepieciešama augsta precizitāte un stabilitāte. Šajā lietojumprogrammā tiek izmantots granīts, jo tas ir stingrs un ciets akmens, un tas izturas pret deformāciju un laika gaitā.
3. Lineāras kustības rokasgrāmatas
Lineārās kustības rokasgrāmatas tiek izmantotas, lai vadītu gaisa nesošo stadiju, un tie ir precīzi novietoti, lai samazinātu kļūdas. Granīts tiek izmantots, lai izveidotu šo rokasgrāmatu, jo tam ir lieliska mehāniskā stabilitāte un izturība. Materiāls ir arī izturīgs pret koroziju, kas nodrošina ceļveža sistēmas ilgmūžību.
4. Metroloģijas aprīkojums
Metroloģijas aprīkojums tiek izmantots, lai izmērītu vafeļu izmērus un īpašības ražošanas procesā. Granīts ir ideāls materiāls šī aprīkojuma celtniecībai, jo tam ir augsts stingrība, zema izplešanās un minimāla deformācija zem slodzes. Turklāt granīta termiskā stabilitāte nodrošina, ka metroloģijas aprīkojums laika gaitā paliek stabils un precīzs.
Noslēgumā jāsaka, ka pusvadītāju nozare ir atkarīga no precizitātes un precizitātes, un granīta materiāli ir izrādījušies ļoti uzticami un stabili ražošanas procesā. Ar daudzām kritiskām sastāvdaļām vafeļu pārneses sistēmā, kurai nepieciešama augsta stabilitāte, precizitāte un zema termiskā izplešanās, inženieri ir pievērsušies granīta materiāliem, lai izpildītu šīs kritiskās prasības.
Pasta laiks: 19.-19.