Granīta materiāli tiek plaši izmantoti pusvadītāju rūpniecībā, pateicoties to lieliskajām īpašībām, piemēram, augstajai stabilitātei, zemai termiskajai izplešanās spējai un augstajai izturībai pret koroziju. Šīs īpašības padara granītu par ideālu materiālu augstas precizitātes komponentu ražošanai vafeļu pārneses sistēmā.
Pusvadītāju ražošanas procesā plākšņu pārneses sistēmai ir izšķiroša nozīme plākšņu transportēšanā dažādos ražošanas procesa posmos. Precizitāte un pareizība ir būtiskas prasības šīm sistēmām, jo pat nelielas novirzes var apdraudēt visu procesu. Tāpēc plākšņu pārneses sistēmas komponentiem jābūt izgatavotiem no augstas kvalitātes materiāliem, un granīts atbilst šiem kritērijiem.
Dažas no granīta materiāliem izgatavotās vafeļu pārneses sistēmas daļas ietver:
1. Vakuuma patronu galds
Vakuuma patronas galds tiek izmantots vafeļu noturēšanai procesa laikā, un tam ir jābūt stabilai virsmai, lai nodrošinātu, ka vafeļi netiek bojāti. Granīts ir ideāls materiāls šī galda izgatavošanai, jo tam ir plakana, neporaina virsma, kas nodrošina augstu stabilitāti un precizitāti. Turklāt granītam ir zems termiskās izplešanās koeficients, kas padara to izturīgu pret temperatūras izmaiņām, kas varētu izraisīt vafeļu izmēru izmaiņas.
2. Gaisa nesošā pakāpe
Gaisa balstu platforma tiek izmantota, lai transportētu plāksni cauri dažādiem ražošanas procesa posmiem. Platforma ir konstruēta tā, lai nodrošinātu kustību bez berzes, kam nepieciešama augsta precizitāte un stabilitāte. Šajā pielietojumā granīts tiek izmantots, jo tas ir stingrs un ciets akmens, kas laika gaitā ir izturīgs pret deformāciju un nodilumu.
3. Lineārās kustības vadotnes
Lineārās kustības vadotnes tiek izmantotas, lai vadītu gaisa gultņu platformu, un tās ir precīzi jānovieto, lai samazinātu kļūdas. Šīs vadotnes izgatavošanai tiek izmantots granīts, jo tam ir lieliska mehāniskā stabilitāte un izturība. Materiāls ir arī izturīgs pret koroziju, kas nodrošina vadotņu sistēmas ilgmūžību.
4. Metroloģijas iekārtas
Metroloģijas iekārtas tiek izmantotas, lai ražošanas procesā izmērītu vafeļu izmērus un īpašības. Granīts ir ideāls materiāls šo iekārtu izgatavošanai, jo tam ir augsta stingrība, zema izplešanās un minimāla deformācija slodzes laikā. Turklāt granīta termiskā stabilitāte nodrošina, ka metroloģijas iekārtas laika gaitā saglabā stabilitāti un precizitāti.
Noslēgumā jāsaka, ka pusvadītāju rūpniecība balstās uz precizitāti un precizitāti, un granīta materiāli ir pierādījuši savu augsto uzticamību un stabilitāti ražošanas procesā. Tā kā daudzām kritiskām komponentēm vafeļu pārneses sistēmā ir nepieciešama augsta stabilitāte, precizitāte un zema termiskā izplešanās, inženieri ir pievērsušies granīta materiāliem, lai izpildītu šīs kritiskās prasības.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 19. marts