Pusvadītāju un optoelektronikas ražošanas iekārtās granīts galvenokārt tiek izmantots tādās galvenajās detaļās kā precīzās kustības platformas, vadotņu pamatnes, vibrācijas izolācijas atbalsta konstrukcijas un optisko komponentu uzstādīšanas substrāti. Šīm detaļām ir ārkārtīgi augstas prasības attiecībā uz precizitāti, stabilitāti un vides toleranci. Granīta īpašības var precīzi atbilst pusvadītāju un optoelektronikas nozaru stingrajām prasībām. Tālāk ir sniegta konkrētu pielietojuma scenāriju un priekšrocību analīze:
I. Galvenās lietojumprogrammas daļas
Precīzas kustības platformas (piemēram, fotolitogrāfijas iekārtu un līmēšanas iekārtu vafeļu platformas)
To izmanto precīzu komponentu, piemēram, plākšņu un optisko lēcu, pārvadāšanai, panākot translācijas un rotācijas kustības ar nanoskalas precizitāti.
Tipisks aprīkojums: fotolitogrāfijas iekārtas sagataves galds, mēriekārtu pozicionēšanas platforma.
Vadotnes sliedes pamatne un rāmja konstrukcija
Kā lineāro vadotņu un gaisa flotācijas vadotņu uzstādīšanas pamatne, tā atbalsta iekārtas galveno kustības mehānismu.
Tipisks aprīkojums: pusvadītāju iepakošanas iekārtu mehāniskie rāmji un optiskās pārbaudes instrumenti.
Vibrācijas izolācijas atbalsts un stabilizējoša struktūra
To izmanto, lai izolētu ārējās vibrācijas (piemēram, vibrācijas no rūpnīcas grīdas vai iekārtu darbības laikā), nodrošinot optisko sistēmu vai precīzijas iekārtu stabilitāti.
Tipiski scenāriji: optisko mikroskopu un lāzerinterferometru pamatnes atbalsts.
Optisko komponentu montāžas substrāts
Piestipriniet optiskās ierīces, piemēram, spoguļus, prizmas un lāzerus, lai nodrošinātu optiskā ceļa sistēmas izlīdzināšanas precizitātes ilgtermiņa stabilitāti.
Tipisks aprīkojums: Optoelektroniskās iepakošanas iekārtas, optisko šķiedru savienošanas sistēmas.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 29. maijs