Granīts ir ciets un izturīgs materiāls, ko bieži izmanto būvniecības nozarē.Tomēr tam ir arī īpašības, kas padara to noderīgu pusvadītāju ražošanā, jo īpaši integrālo shēmu ražošanā un apstrādē.Granīta sastāvdaļas, piemēram, granīta galdi un granīta bloki, tiek plaši izmantotas to stabilitātes, plakanuma un zemā termiskās izplešanās koeficienta dēļ.
Viens no galvenajiem granīta komponentu lietojumiem pusvadītāju ražošanā ir ražošanas process.Silīcija plāksnītes, integrālo shēmu pamatelementi, ir jāizgatavo ar augstu precizitāti un precizitāti.Jebkuri kropļojumi vai kustība procesa laikā var radīt defektus, kas var ietekmēt integrālo shēmu kvalitāti un funkcionalitāti.Granīta galdi ar savu augsto stabilitāti un līdzenumu nodrošina labu platformu vafeļu apstrādes iekārtām.Tie ir arī izturīgi pret termisko izplešanos un saraušanos, ko izraisa procesā nepieciešamā apkure un dzesēšana.
Granīta blokus izmanto arī pusvadītāju apstrādē to termiskās stabilitātes dēļ.Kodināšanas vai nogulsnēšanas procesu laikā silīcija vafeles virsmas modificēšanai tiek izmantotas karstas gāzes vai plazmas.Vafeļu temperatūra ir jākontrolē, lai nodrošinātu, ka process tiek veikts efektīvi un precīzi.Granīta bloki ar savu zemo termiskās izplešanās koeficientu palīdz stabilizēt vafeles temperatūru, samazinot temperatūras svārstību risku, kas varētu ietekmēt apstrādājamā materiāla kvalitāti.
Papildus ražošanas un apstrādes procesiem granīta sastāvdaļas tiek izmantotas arī pusvadītāju ražošanas metroloģijas un pārbaudes posmos.Metroloģijas mērījumi tiek veikti, lai nodrošinātu, ka konstrukciju izmērs, forma un novietojums uz vafeles atbilst nepieciešamajām specifikācijām.Granīta bloki šajos mērījumos tiek izmantoti kā atskaites standarti to izmēru stabilitātes un precizitātes dēļ.Tos izmanto arī pārbaudes posmos, kur integrālo shēmu kvalitāti pārbauda ar lielu palielinājumu.
Kopumā granīta komponentu izmantošana pusvadītāju ražošanā pēdējos gados ir palielinājusies.Nepieciešamība pēc augstas precizitātes, precizitātes un stabilitātes integrālo shēmu izgatavošanā un apstrādē ir izraisījusi pusvadītāju ražotāju pieņemtos šos materiālus.Granīta unikālās īpašības, piemēram, cietība, stabilitāte un zemais termiskās izplešanās koeficients, padara to par lielisku izvēli izmantošanai šajos procesos.Turpinoties pusvadītāju tehnoloģiju attīstībai un uzlabošanai, nākotnē paredzams, ka granīta komponentu izmantošana turpinās pieaugt.
Izlikšanas laiks: Dec-05-2023