Granīts ir ciets un izturīgs materiāls, ko bieži izmanto būvniecības nozarē. Tomēr tam ir arī īpašības, kas padara to noderīgu pusvadītāju ražošanā, īpaši integrētu shēmu izgatavošanā un apstrādē. Granīta komponenti, piemēram, granīta tabulas un granīta bloki, tiek plaši izmantoti to stabilitātes, plakanuma un zemas termiskās izplešanās koeficienta dēļ.
Viens no galvenajiem granīta komponentu lietojumiem pusvadītāju ražošanā ir ražošanas procesā. Silīcija vafeles, integrēto ķēžu pamatelementi, jāveido ar augstu precizitāti un precizitāti. Jebkuri izkropļojumi vai kustība procesa laikā var izraisīt defektus, kas var ietekmēt integrēto shēmu kvalitāti un funkcionalitāti. Granīta galdi ar augsto stabilitāti un līdzenumu nodrošina labu platformu vafeļu apstrādes aprīkojumam. Tie ir izturīgi arī pret termisko izplešanos un saraušanos, ko izraisa procesā nepieciešama apkure un dzesēšana.
Granīta bloki tiek izmantoti arī pusvadītāju apstrādē to termiskās stabilitātes dēļ. Silīcija vafeles virsmas modificēšanai tiek izmantotas kodināšanas vai nogulsnēšanas procesu laikā karstas gāzes vai plazmas. Vafer temperatūra ir jākontrolē, lai pārliecinātos, ka process tiek veikts efektīvi un precīzi. Granīta bloki ar zemu termiskās izplešanās koeficientu palīdz stabilizēt vafeles temperatūru, samazinot temperatūras svārstību risku, kas varētu ietekmēt apstrādātā materiāla kvalitāti.
Papildus izgatavošanas un apstrādes procesiem granīta komponenti tiek izmantoti arī pusvadītāju ražošanas metroloģijas un pārbaudes posmos. Metroloģijas mērījumi tiek veikti, lai pārliecinātos, ka vafeļu struktūru lielums, forma un pozīcija ir vajadzīgajās specifikācijās. Šajos mērījumos kā atsauces standartus izmanto granīta blokus to izmēru stabilitātes un precizitātes dēļ. Tos izmanto arī pārbaudes posmos, kur integrēto shēmu kvalitāte tiek pārbaudīta ar lielu palielinājumu.
Kopumā pēdējos gados ir palielinājusies granīta komponentu izmantošana pusvadītāju ražošanā. Nepieciešamība pēc augstas precizitātes, precizitātes un stabilitātes integrētu shēmu izgatavošanā un apstrādē ir izraisījusi šo materiālu pieņemšanu pusvadītāju ražotājiem. Granīta unikālās īpašības, piemēram, tā cietība, stabilitāte un zema termiskās izplešanās koeficients, padara to par lielisku izvēli izmantošanai šajos procesos. Turpinot pusvadītāju tehnoloģijas attīstību un uzlabošanu, sagaidāms, ka granīta komponentu izmantošana nākotnē pieaugs tālāk.
Pasta laiks: Dec-05-2023