Granīts ir ciets un izturīgs materiāls, ko bieži izmanto būvniecības nozarē. Tomēr tam piemīt arī īpašības, kas padara to noderīgu pusvadītāju ražošanā, īpaši integrēto shēmu izgatavošanā un apstrādē. Granīta komponenti, piemēram, granīta galdi un granīta bloki, tiek plaši izmantoti to stabilitātes, līdzenuma un zemā termiskās izplešanās koeficienta dēļ.
Viens no galvenajiem granīta komponentu izmantošanas veidiem pusvadītāju ražošanā ir ražošanas process. Silīcija plāksnes, kas ir integrēto shēmu pamatelementi, ir jāizgatavo ar augstu precizitāti un pareizību. Jebkura deformācija vai kustība procesa laikā var izraisīt defektus, kas var ietekmēt integrēto shēmu kvalitāti un funkcionalitāti. Granīta galdi ar savu augsto stabilitāti un līdzenumu nodrošina labu platformu plākšņu apstrādes iekārtām. Tie ir arī izturīgi pret termisko izplešanos un saraušanos, ko izraisa procesā nepieciešamā sildīšana un dzesēšana.
Granīta blokus izmanto arī pusvadītāju apstrādē to termiskās stabilitātes dēļ. Kodināšanas vai nogulsnēšanas procesos silīcija plāksnes virsmas modificēšanai izmanto karstas gāzes vai plazmu. Lai nodrošinātu procesa efektīvu un precīzu norisi, ir jākontrolē plāksnes temperatūra. Granīta bloki ar zemu termiskās izplešanās koeficientu palīdz stabilizēt plāksnes temperatūru, samazinot temperatūras svārstību risku, kas varētu ietekmēt apstrādātā materiāla kvalitāti.
Papildus ražošanas un apstrādes procesiem granīta komponenti tiek izmantoti arī pusvadītāju ražošanas metroloģijas un pārbaudes posmos. Metroloģiskie mērījumi tiek veikti, lai nodrošinātu, ka struktūru izmērs, forma un novietojums uz plāksnes atbilst noteiktajām specifikācijām. Granīta bloki šajos mērījumos tiek izmantoti kā atsauces standarti to izmēru stabilitātes un precizitātes dēļ. Tos izmanto arī pārbaudes posmos, kur integrēto shēmu kvalitāte tiek pārbaudīta ar lielu palielinājumu.
Kopumā granīta komponentu izmantošana pusvadītāju ražošanā pēdējos gados ir palielinājusies. Nepieciešamība pēc augstas precizitātes, pareizības un stabilitātes integrēto shēmu ražošanā un apstrādē ir veicinājusi šo materiālu izmantošanu pusvadītāju ražotāju vidū. Granīta unikālās īpašības, piemēram, tā cietība, stabilitāte un zemais termiskās izplešanās koeficients, padara to par lielisku izvēli izmantošanai šajos procesos. Pastāvīgi attīstoties un uzlabojot pusvadītāju tehnoloģiju, paredzams, ka granīta komponentu izmantošana nākotnē vēl vairāk pieaugs.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 5. decembris