Tādās jomās kā pusvadītāju ražošana un precīzijas mērinstrumenti granīta precīzijas platformu precizitāte tieši nosaka iekārtu darbības kvalitāti. Lai nodrošinātu, ka platformas precizitāte atbilst standartiem, jācenšas no diviem aspektiem: galveno rādītāju noteikšanas un atbilstības standarta normām.
Kodola indikatora noteikšana: daudzdimensionāla precizitātes kontrole
Plakanuma noteikšana: atskaites plaknes "plakanuma" noteikšana
Līdzenums ir granīta precīzijas platformu galvenais rādītājs, un to parasti mēra ar lāzera interferometriem vai elektroniskajiem līmeņrāžiem. Lāzera interferometrs var precīzi izmērīt sīkas platformas virsmas nelīdzenumus, izstarojot lāzera staru un izmantojot gaismas interferences principu, ar precizitāti, kas sasniedz submikrona līmeni. Elektroniskais līmeņrādis mēra, vairākkārt pārvietojoties, un uzzīmē platformas virsmas trīsdimensiju kontūru karti, lai noteiktu, vai ir kādi lokāli izvirzījumi vai ieplakas. Piemēram, granīta platformām, ko izmanto pusvadītāju fotolitogrāfijas iekārtās, ir jābūt ±0,5 μm/m līdzenumam, kas nozīmē, ka augstuma starpība 1 metra garumā nedrīkst pārsniegt pusi mikrometra. Šo stingro standartu var nodrošināt tikai ar augstas precizitātes noteikšanas iekārtām.
2. Taisnuma noteikšana: Nodrošiniet lineāras kustības "taisnumu"
Platformām, kurās ir precīzas kustīgas detaļas, taisnstūrveida kustība ir ārkārtīgi svarīga. Izplatītākās noteikšanas metodes ir stiepļu metode vai lāzera kolimators. Stiepļu metode ietver augstas precizitātes tērauda stiepļu piekarināšanu un atstarpes starp platformas virsmu un tērauda stieplēm salīdzināšanu, lai noteiktu taisnstūrveida kustību. Lāzera kolimators izmanto lāzera lineārās izplatīšanās raksturlielumus, lai noteiktu platformas vadotnes sliedes uzstādīšanas virsmas lineāro kļūdu. Ja taisnstūrveida kustība neatbilst standartam, tas izraisīs iekārtas nobīdi kustības laikā, ietekmējot apstrādes vai mērījumu precizitāti.
3. Virsmas raupjuma noteikšana: nodrošiniet kontakta "smalkumu"
Platformas virsmas raupjums ietekmē komponentu uzstādīšanas piemērotību. Parasti noteikšanai izmanto irbuļa raupjuma mērītāju vai optisko mikroskopu. Irbuļa tipa instruments reģistrē mikroskopiskā profila augstuma izmaiņas, saskaroties ar platformas virsmu ar smalku zondi. Optiskie mikroskopi var tieši novērot virsmas tekstūru. Augstas precizitātes pielietojumos granīta platformu virsmas raupjums ir jākontrolē Ra≤0,05 μm līmenī, kas ir līdzvērtīgs spoguļa efektam, nodrošinot, ka precīzijas komponenti uzstādīšanas laikā cieši pieguļ, un novēršot vibrāciju vai pārvietošanos, ko izraisa spraugas.
Precizitātes standarti atbilst starptautiskajām normām un uzņēmuma iekšējai kontrolei.
Pašlaik starptautiskā mērogā granīta platformu precizitātes noteikšanai par pamatu parasti tiek izmantoti ISO 25178 un GB/T 24632 standarti, un ir skaidras klasifikācijas tādiem rādītājiem kā līdzenums un taisnums. Turklāt augstas klases ražošanas uzņēmumi bieži nosaka stingrākus iekšējās kontroles standartus. Piemēram, fotolitogrāfijas iekārtas granīta platformas līdzenuma prasība ir par 30% augstāka nekā starptautiskajā standartā. Veicot testus, izmērītie dati jāsalīdzina ar atbilstošajiem standartiem. Tikai platformas, kas pilnībā atbilst standartiem, var nodrošināt stabilu darbību precīzijas iekārtās.
Granīta precīzijas platformu precizitātes pārbaude ir sistemātisks projekts. Tikai stingri pārbaudot tādus pamatrādītājus kā līdzenums, taisnums un virsmas raupjums, kā arī ievērojot starptautiskos un uzņēmuma standartus, var garantēt platformas augsto precizitāti un uzticamību, liekot stabilu pamatu augstas klases ražošanas jomām, piemēram, pusvadītāju un precīzijas instrumentu ražošanai.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 21. maijs