Pusvadītāju ražošanas jomā submikrona precizitāte ir galvenais, lai nodrošinātu mikroshēmu veiktspēju, un (ZHHIMG®) granīta pamatne ar savām materiāla īpašībām, precīzo apstrādi un inovatīvo dizainu ir kļuvusi par galveno garantiju šīs precizitātes sasniegšanai.
No materiāla īpašību viedokļa ZHHIMG® izvēlētajam melnajam granītam ir aptuveni 3100 kg/m³ blīvums ar blīvu iekšējo struktūru. Šis augstais blīvums piešķir tam izcilu stabilitāti un stingrību. Pusvadītāju iekārtu darbības laikā motoru rotācija un mehānisko komponentu kustība iekārtas iekšpusē rada vibrācijas. Granīta pamatne var efektīvi absorbēt vairāk nekā 90% vibrācijas enerģijas, ievērojami samazinot vibrācijas ietekmi uz iekārtas precizitāti. Tikmēr tā ārkārtīgi zemais termiskās izplešanās koeficients ļauj tam saglabāt deformāciju ļoti nelielā diapazonā, kad apkārtējās vides temperatūra svārstās, nodrošinot stabilu atbalsta pamatu pusvadītāju iekārtām un novēršot iekārtu komponentu pārvietošanos temperatūras izmaiņu dēļ, kas varētu ietekmēt precizitāti.
Runājot par apstrādi un ražošanu, ZHHIMG® rūpnīcā tiek izmantotas starptautiski modernas apstrādes iekārtas, un tai ir četras īpaši lielas slīpmašīnas (katras mašīnas cena pārsniedz 500 000 USD), kas var veikt augstas precizitātes granīta slīpēšanu. Pateicoties piecu asu savienojumu CNC apstrādei un citiem procesiem, mašīnas pamatnes līdzenums var sasniegt nanometru līmeni, nodrošinot īpaši līdzenu atskaites virsmu pusvadītāju iekārtu uzstādīšanai un garantējot katras iekārtas sastāvdaļas precīzu pozicionēšanu. Turklāt nemainīgas temperatūras un mitruma darbnīca (10 000 kvadrātmetru platībā) nodrošina stabilu vidi apstrādei. 500 mm platās un 2000 mm dziļās vibrācijas slāpēšanas tranšejas ap to, kā arī klusie celtņi efektīvi izolē ārējos vibrācijas traucējumus un nodrošina mašīnas pamatnes apstrādes precizitāti.
Turklāt ZHHIMG® ir arī plašas pielāgošanas iespējas. Pusvadītāju iekārtu īpašajām prasībām var iepriekš izgatavot precīzus uzstādīšanas caurumus un kabeļu renes, lai panāktu perfektu saderību starp iekārtu un pamatni. Vienlaikus, apvienojumā ar pasaules līmeņa metroloģijas un testēšanas aprīkojumu, piemēram, vācu Mahr minūšu mērierīci (ar precizitāti 0,5 μm) un Šveices WYLER elektronisko līmeņrādi, mašīnas pamatne tiek stingri pārbaudīta un kalibrēta, lai nodrošinātu, ka katra mašīnas pamatne atbilst stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām attiecībā uz precizitāti līdz mikronam.
Tieši šo priekšrocību kombinācija padara ZHHIMG® granīta bāzi par uzticamu izvēli, lai sasniegtu submikronu precizitāti pusvadītāju iekārtās, palīdzot pusvadītāju ražošanai virzīties uz augstākas precizitātes laukiem.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 18. jūnijs