Pusvadītāju ražošanas precīzajā pasaulē plākšņu nesagraujošā testēšana ir galvenais elements, lai nodrošinātu mikroshēmu kvalitāti. Šķietami nenozīmīgā granīta pamatne patiesībā ir "neapdziedātais varonis", kas nosaka noteikšanas precizitāti. Kā gan tas ietekmē testa rezultātus? Šajā rakstā tiks veikta padziļināta analīze no tādiem aspektiem kā materiālu īpašības un konstrukcijas dizains.
1. Stabils pamats: Granīta dabiskās priekšrocības veido stabilu pamatu precizitātei
1. Lieliska seismiskā veiktspēja
Vafeles nesagraujošās testēšanas iekārtas darbības laikā motora rotācija un mehānisko komponentu kustība rada vibrācijas. Ja šīs vibrācijas netiek efektīvi apslāpētas, tās nopietni ietekmēs testēšanas precizitāti. Granīta iekšpuse ir cieši saistīta ar minerālu kristāliem, piemēram, kvarcu un laukšpatu. Tā unikālā struktūra piešķir tam dabisku vibrāciju absorbcijas spēju, kas spēj absorbēt vairāk nekā 90% no iekārtas vibrācijas enerģijas. Kāda pusvadītāju ražotāja faktiskie mērījumu dati liecina, ka pēc granīta pamatnes izmantošanas noteikšanas iekārtas vibrācijas amplitūda ir samazinājusies no 12 μm līdz 2 μm, efektīvi novēršot vibrācijas izraisīto noteikšanas signāla novirzi.
2. Īpaši zems termiskās izplešanās koeficients
Noteikšanas procesa laikā tādi faktori kā iekārtu sakaršana un apkārtējās vides temperatūras izmaiņas ietekmēs iekārtas pamatnes stabilitāti. Parastie materiāli karsējot ievērojami izplešas, bet granīta termiskās izplešanās koeficients ir tikai 1/5 no tērauda. Pat ja apkārtējās vides temperatūra svārstās par 10 ℃, tā deformāciju var ignorēt. Tas ļauj granīta pamatnei nodrošināt stabilu atskaites platformu pārbaudes iekārtai, nodrošinot, ka pārbaudes zondes un plāksnītes relatīvais novietojums vienmēr ir precīzs, un novēršot pārbaudes kļūdas, ko rada termiskā deformācija.
Otrkārt, precīzs dizains: strukturālā optimizācija vēl vairāk uzlabo noteikšanas uzticamību
Augstas precizitātes apstrāde un līdzenuma garantija
Augstas kvalitātes granīta pamatne ir apstrādāta, izmantojot modernu piecu asu savienojumu CNC tehnoloģiju, ar līdzenumu ±0,5 μm/m, kas nodrošina īpaši plakanu uzstādīšanas atskaites punktu pārbaudes iekārtām. Vafeles pārbaudē pārbaudes zondes vertikālums un līdzenums ir ļoti svarīgi pārbaudes rezultātiem. Augstas precizitātes granīta pamatne var nodrošināt precīzu zondes pozicionēšanu, padarot pārbaudes datus precīzākus un uzticamākus.
2. Pielāgota strukturālā pielāgošana
Granīta mašīnu pamatnes var pielāgot dažādām vafeļu nesagraujošās testēšanas iekārtām un procesa prasībām. Piemēram, lai izpildītu optiskās pārbaudes iekārtu prasības attiecībā uz gaismas atstarošanu, mašīnas pamatnes virsmu var īpaši apstrādāt; lai izpildītu ultraskaņas testēšanas iekārtu uzstādīšanas prasības, pamatni var iepriekš izgatavot ar precīziem uzstādīšanas caurumiem un kabeļu renēm, kas nodrošina ātru un precīzu iekārtu uzstādīšanu un samazina uzstādīšanas kļūdu radītās noteikšanas novirzes.
Iii. Ilgtermiņa stabilitāte: Samaziniet precizitātes zudumus, ko rada iekārtu apkope
Granītam ir augsta cietība un spēcīga nodilumizturība, tā Mosa cietība ir no 6 līdz 7, kas ir trīs reizes lielāka par parastā tērauda nodilumizturību. Ilgstošas pārbaudes laikā mašīnas pamatnes virsma nav pakļauta nodilumam un vienmēr var saglabāt labu precizitātes stāvokli. Turpretī no citiem materiāliem izgatavotas pamatnes var izraisīt izmaiņas iekārtas uzstādīšanas atskaites punktā nodiluma dēļ, tādējādi ietekmējot noteikšanas precizitāti un pieprasot biežu kalibrēšanu un apkopi. Granīta pamatnes ilgais kalpošanas laiks un augstā stabilitāte efektīvi samazina iekārtu apkopes biežumu un samazina precizitātes zuduma risku, kas var rasties apkopes procesā.
Sākot ar triecienizturību un karstumizturību līdz precīzam dizainam, katra granīta pamatnes iezīme nodrošina plākšņu nesagraujošās testēšanas precizitāti. Mūsdienu pusvadītāju ražošanas laikmetā, kas tiecas pēc maksimālas precizitātes, augstas kvalitātes granīta pamatnes izvēle ir kā stabila apdrošināšanas slāņa pievienošana testa rezultātu precizitātei un ticamībai.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 18. jūnijs