Pusvadītāju ražošanas darbnīcā mikroshēmu ražošanas procesa prasības attiecībā uz vides apstākļiem un iekārtu precizitāti ir ārkārtīgi augstas, un jebkura neliela novirze var izraisīt ievērojamu mikroshēmas ražas samazināšanos. XYZT precīzās portāla kustības platforma balstās uz granīta komponentiem, kas sadarbojas ar citām platformas daļām, lai izveidotu stabilu pamatu nanoskalas precizitātes sasniegšanai.
Lieliskas vibrācijas bloķēšanas īpašības
Pusvadītāju ražošanas darbnīcā perifērijas iekārtu darbība un apkārt staigājošais personāls var izraisīt vibrāciju. Granīta komponentu iekšējā struktūra ir blīva un vienmērīga, ar dabiskām augstām slāpēšanas īpašībām, līdzīgi kā efektīva vibrācijas "barjera". Kad ārējā vibrācija tiek pārnesta uz XYZT platformu, granīta komponents var efektīvi vājināt vairāk nekā 80% vibrācijas enerģijas un samazināt vibrācijas ietekmi uz platformas kustības precizitāti. Vienlaikus platforma ir aprīkota ar augstas precizitātes gaisa pludiņa vadotnes sistēmu, kas darbojas kopā ar granīta komponentiem. Gaisa pludiņa vadotne izmanto stabilu gāzes plēvi, ko veido augstspiediena gāze, lai realizētu platformas kustīgo daļu bezkontakta piekares kustību un samazinātu mehāniskās berzes radīto nelielo vibrāciju. Kopā abas nodrošina, ka platformas pozicionēšanas precizitāte vienmēr tiek saglabāta nanometru līmenī tādos galvenajos procesos kā mikroshēmu litogrāfija un kodināšana, un novērš vibrācijas izraisītas mikroshēmu shēmu rakstu novirzes.
Lieliska termiskā stabilitāte
Temperatūras un mitruma svārstības darbnīcā būtiski ietekmē mikroshēmu ražošanas iekārtu precizitāti. Granīta termiskās izplešanās koeficients ir ļoti zems, parasti 5–7 × 10⁻⁶/℃, un izmērs gandrīz nemainās, mainoties temperatūrai. Pat ja temperatūras starpība darbnīcā starp dienu un nakti vai iekārtas radītā siltuma dēļ apkārtējās vides temperatūra svārstās, granīta komponenti var palikt stabili, novēršot platformas deformāciju termiskās izplešanās un saraušanās dēļ. Tajā pašā laikā platformas viedā temperatūras kontroles sistēma reāllaikā uzrauga apkārtējās vides temperatūru, automātiski pielāgo gaisa kondicionēšanas un siltuma izkliedes iekārtas un uztur darbnīcas temperatūru 20 °C ± 1 °C līmenī. Apvienojumā ar granīta termiskās stabilitātes priekšrocībām tiek nodrošināts, ka platformas ilgstošas darbības laikā katras ass kustības precizitāte vienmēr atbilst mikroshēmu ražošanas nanometru precizitātes standartiem, lai nodrošinātu, ka mikroshēmu litogrāfijas raksta izmērs ir precīzs un kodināšanas dziļums ir vienmērīgs.
Apmierināt tīras vides vajadzības
Pusvadītāju ražošanas cehā ir jāuztur augsta tīrības pakāpe, lai novērstu putekļu daļiņu piesārņošanu mikroshēmā. Granīta materiāls pats par sevi nerada putekļus, un virsma ir gluda, putekļus viegli neuzsūc. Platforma kopumā ir pilnībā slēgta vai daļēji slēgta konstrukcijas konstrukcija, lai samazinātu ārējo putekļu iekļūšanu. Iekšējā gaisa cirkulācijas sistēma ir savienota ar darbnīcas tīrās gaisa kondicionēšanas sistēmu, lai nodrošinātu, ka iekšējā gaisa tīrība sasniedz mikroshēmu ražošanai nepieciešamo līmeni. Šajā tīrajā vidē granīta komponenti neietekmēs veiktspēju putekļu erozijas dēļ, un arī platformas galvenās sastāvdaļas, piemēram, augstas precizitātes sensori un motori, var darboties stabili, nodrošinot nepārtrauktu un uzticamu nanoskalas precizitātes garantiju mikroshēmu ražošanā un palīdzot pusvadītāju nozarei pāriet uz augstāku procesa līmeni.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 14. aprīlis