Pusvadītāju ražošanā fotolitogrāfijas iekārta ir galvenā ierīce, kas nosaka mikroshēmu precizitāti, un granīta pamatne ar tās daudzajām īpašībām ir kļuvusi par neaizstājamu fotolitogrāfijas iekārtas sastāvdaļu.
Termiskā stabilitāte: "Aizsargs" pret temperatūras izmaiņām
Fotolitogrāfijas iekārtas darbības laikā rodas liels siltuma daudzums. Pat tikai 0,1 ℃ temperatūras svārstības var izraisīt iekārtas komponentu deformāciju un ietekmēt fotolitogrāfijas precizitāti. Granīta termiskās izplešanās koeficients ir ārkārtīgi zems, tikai 4–8 × 10⁻⁶/℃, kas ir aptuveni 1/3 no tērauda un 1/5 no alumīnija sakausējuma koeficienta. Tas ļauj granīta pamatnei saglabāt izmēru stabilitāti, kad fotolitogrāfijas iekārta darbojas ilgu laiku vai mainās apkārtējās vides temperatūra, nodrošinot precīzu optisko komponentu un mehānisko konstrukciju pozicionēšanu.
Izcila vibrācijas novēršanas veiktspēja: "Sūklis", kas absorbē vibrāciju
Pusvadītāju rūpnīcā apkārtējo iekārtu darbība un cilvēku kustība var radīt vibrācijas. Granītam ir augsts blīvums un cieta tekstūra, un tam ir lieliskas slāpēšanas īpašības, kuru slāpēšanas koeficients ir 2 līdz 5 reizes lielāks nekā metāliem. Kad ārējās vibrācijas tiek pārnestas uz granīta pamatni, berze starp iekšējiem minerālu kristāliem pārveido vibrācijas enerģiju siltumenerģijā izkliedēšanai, kas īsā laikā var ievērojami samazināt vibrāciju, ļaujot fotolitogrāfijas iekārtai ātri atjaunot stabilitāti un izvairīties no fotolitogrāfijas raksta izplūšanas vai nepareizas izlīdzināšanas vibrācijas dēļ.
Ķīmiskā stabilitāte: tīras vides "aizbildnis"
Fotolitogrāfijas iekārtas iekšpuse nonāk saskarē ar dažādām ķīmiskām vielām, un parastie metāla materiāli ir pakļauti korozijai vai daļiņu izdalīšanās riskam. Granīts sastāv no tādiem minerāliem kā kvarcs un laukšpats. Tam ir stabilas ķīmiskās īpašības un spēcīga izturība pret koroziju. Pēc mērcēšanas skābju un sārmu šķīdumos virsmas korozija ir ārkārtīgi maza. Tikmēr tā blīvā struktūra gandrīz nerada gružus vai putekļus, atbilstot augstākajiem tīrtelpu standartiem un samazinot plākšņu piesārņojuma risku.
Apstrādes pielāgojamība: "Ideāls materiāls" precīzu etalonu izveidei
Fotolitogrāfijas iekārtas galvenās sastāvdaļas jāuzstāda uz augstas precizitātes atskaites virsmas. Granīta iekšējā struktūra ir vienmērīga, un to ir viegli apstrādāt ar ārkārtīgi augstu precizitāti, izmantojot slīpēšanu, pulēšanu un citas metodes. Tā līdzenums var sasniegt ≤0,5 μm/m, un virsmas raupjums Ra ir ≤0,05 μm, kas nodrošina precīzu uzstādīšanas pamatu tādām sastāvdaļām kā optiskās lēcas.
Ilgs kalpošanas laiks un bez apkopes: "Asi instrumenti" izmaksu samazināšanai
Salīdzinot ar metāla materiāliem, kas ilgstošas lietošanas laikā ir pakļauti nogurumam un plaisāšanai, granīts normālas slodzes apstākļos gandrīz nedeformējas plastiski vai nelūzt, un tam nav nepieciešama virsmas apstrāde, tādējādi novēršot pārklājuma lobīšanās un piesārņojuma risku. Praktiskā pielietojumā pēc daudzu gadu lietošanas granīta pamatnes galvenie darbības rādītāji joprojām var saglabāties stabili, samazinot iekārtu ekspluatācijas un uzturēšanas izmaksas.
Sākot ar termisko stabilitāti un vibrācijas izturību līdz ķīmiskajai inertitātei, granīta pamatnes daudzās īpašības lieliski atbilst fotolitogrāfijas iekārtas prasībām. Tā kā mikroshēmu ražošanas process turpina attīstīties, lai sasniegtu lielāku precizitāti, granīta pamatnes arī turpmāk spēlēs neaizstājamu lomu pusvadītāju ražošanas jomā.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 20. maijs