Augstas klases ražošanas un progresīvu zinātnisko pētījumu jomā gaisa pludiņa īpaši precīzais kustības modulis ir kļuvis par galveno aprīkojumu precīzai darbībai un mērījumiem, pateicoties tā izcilajai precizitātes veiktspējai. Granīta precīzajai pamatnei kā atbalsta kodolam ir stingras prasības darba videi, un piemēroti vides apstākļi ir pamats, lai nodrošinātu tā stabilu darbību un labāko efektu.
Pirmkārt, temperatūras kontrole: precīzs "stabilizators"
Lai gan granīts ir pazīstams ar savu stabilitāti, tas nav pilnībā imūns pret temperatūras izmaiņām. Lai gan tā termiskās izplešanās koeficients ir zems, parasti 5–7 × 10⁻⁶/℃, īpaši precīzas kustības vadības scenārijos nelielas temperatūras svārstības joprojām var izraisīt izmēru izmaiņas un ietekmēt moduļa precizitāti. Pusvadītāju mikroshēmu ražošanas darbnīcā litogrāfijas procesam ir nepieciešama danami līmeņa pozicionēšanas precizitāte, un apkārtējās vides temperatūra svārstās par 1 °C, un granīta pamatne ar 1 metra sānu garumu var radīt lineāru izplešanos vai saraušanos 5–7 mikroni. Šīs nelielās izmaiņas pārraida gaisa pludiņa īpaši precīzais kustības modulis, kas ir pietiekams, lai radītu mikroshēmas litogrāfijas raksta novirzi un ievērojami samazinātu ražu. Tāpēc, aprīkots ar granīta precīzu gaisa peldošā īpaši precīza kustības moduļa pamatni, ideāla darba vides temperatūra jākontrolē 20 °C ± 1 °C temperatūrā, izmantojot augstas precizitātes nemainīgas temperatūras iekārtas, piemēram, nemainīgas temperatūras un mitruma gaisa kondicionēšanas sistēmu, nepārtraukti uzraugot un regulējot apkārtējās vides temperatūru, lai nodrošinātu, ka temperatūras svārstības ļoti nelielā diapazonā saglabā pamatnes izmēra stabilitāti, lai nodrošinātu moduļa augstas precizitātes darbību.
Otrkārt, mitruma pārvaldība: mitruma necaurlaidīgas aizsardzības "akmens" atslēga
Mitrums ir vēl viens svarīgs faktors, kas ietekmē precīzas granīta pamatnes darbību. Augsta mitruma vidē granīts viegli absorbē ūdens tvaikus, kas var izraisīt kondensāciju uz virsmas, kas ne tikai ietekmē granīta un gaisa pludiņa īpaši precīzās kustības moduļa savienojuma stabilitāti, bet arī ilgtermiņā var izraisīt virsmas eroziju un samazināt spīdumu un precizitāti. Optisko lēcu slīpēšanas darbnīcā, ja mitrums ilgstoši ir augstāks par 60% relatīvais mitrums, uz granīta pamatnes virsmas adsorbētie ūdens tvaiki traucēs gāzes pludiņa slīdņa kustību, kā rezultātā samazināsies lēcu slīpēšanas precizitāte un virsma būs nepilnīga. Tāpēc darba vides relatīvais mitrums ir stingri jākontrolē no 40% līdz 60% relatīvajam mitrumam, ko var uzraudzīt un regulēt reāllaikā, uzstādot sausinātājus, mitruma sensorus un citas iekārtas, lai izvairītos no granīta pamatnes bojājumiem augsta mitruma dēļ un nodrošinātu gaisa pludiņa īpaši precīzās kustības moduļa vienmērīgu darbību.
Treškārt, tīrības garantija: precizitātes "sargs"
Putekļu daļiņu kaitējumu īpaši precīzās kustības moduļa gaisa flotācijas precīzajai granīta pamatnei nevar novērtēt par zemu. Kad sīkās daļiņas nonāk gāzes plēves spraugā starp gāzes pludiņa slīdni un granīta pamatni, tās var sabojāt gāzes plēves vienmērīgumu, palielināt berzi un pat saskrāpēt pamatnes virsmu, kā rezultātā samazinās kustības precizitāte. Kosmosa detaļu īpaši precīzās apstrādes darbnīcā, ja gaisā esošās putekļu daļiņas nokrīt uz granīta pamatnes, apstrādes instrumenta kustības trajektorija var novirzīties, ietekmējot detaļu apstrādes precizitāti. Tāpēc darba vieta ir jāuztur ļoti tīra, sasniedzot 10 000 vai pat augstāku tīrības līmeni, uzstādot gaisa attīrīšanas iekārtas, piemēram, augstas efektivitātes gaisa filtrus (HEPA), kas filtrē putekļu daļiņas gaisā, vienlaikus darbiniekiem jāvalkā putekļu nesaturošs apģērbs, apavu pārvalki utt., lai samazinātu cilvēku radīto putekļu daudzumu. Uzturēt granīta pamatnes un gaisa pludiņa īpaši precīzās kustības moduļa augstas precizitātes darba vidi.
Četri, vibrācijas izolācija: "trieciena spilventiņa" vienmērīga darbība
Ārējās vibrācijas ir gaisa pludiņa īpaši precīzā kustības moduļa precizitātes ienaidnieks. Lai gan precīzajai granīta pamatnei ir zināma vibrācijas vājināšanas spēja, augstas stiprības vibrācijas joprojām var pārsniegt tās bufera robežu. Satiksmes radītā vibrācija ap rūpnīcu un lielu mehānisko iekārtu darbība tiek pārnesta uz granīta pamatni caur zemi, kas traucēs gaisa pludiņa īpaši precīzā kustības moduļa kustības precizitāti. Augstas klases KMM vibrācijas var izraisīt nestabilu kontaktu starp mērīšanas zondi un mērāmo sagatavi, kā rezultātā rodas mērījumu datu novirzes. Lai atrisinātu šo problēmu, ir jāveic efektīvi vibrācijas izolācijas pasākumi, piemēram, vibrācijas izolācijas spilventiņu izvietošana iekārtu uzstādīšanas zonā, vibrācijas izolācijas pamatu izbūve vai aktīvas vibrācijas izolācijas sistēmas izmantošana, lai aktīvi kompensētu ārējo vibrāciju, un jāizveido klusa un stabila darba vide granīta precīzajai pamatnei un gaisa pludiņa īpaši precīzajam kustības modulim.
Tikai pilnībā izpildot vides prasības attiecībā uz temperatūru, mitrumu, tīrību un vibrācijas kontroli, gaisa pludiņa īpaši precīzās kustības moduļa granīta precīzā pamatne var pilnībā izmantot savas veiktspējas priekšrocības, nodrošināt uzticamu garantiju īpaši precīzām darbībām dažādās jomās un palīdzēt nozarei virzīties uz augstāku precizitātes ražošanas un zinātniskās pētniecības līmeni.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 8. aprīlis