Precīzā revolūcija pusvadītāju ražošanā: kad granīts satiekas ar mikronu tehnoloģiju
1.1 Negaidīti atklājumi materiālzinātnē
Saskaņā ar Starptautiskās pusvadītāju asociācijas 2023. gada ziņojumu 63 % pasaules progresīvo rūpnīcu ir sākušas izmantot granīta pamatnes tradicionālo metāla platformu vietā. Šis dabīgais akmens, kas rodas magmas kondensācijas rezultātā Zemes dzīlēs, pārraksta pusvadītāju ražošanas vēsturi savu unikālo fizikālo īpašību dēļ:
Termiskās inerces priekšrocība: granīta termiskās izplešanās koeficients 4,5 × 10⁻⁶/℃ ir tikai 1/5 no nerūsējošā tērauda, un litogrāfijas iekārtas nepārtrauktā darbībā tiek saglabāta izmēru stabilitāte ±0,001 mm.
Vibrāciju slāpēšanas raksturlielumi: iekšējās berzes koeficients ir 15 reizes lielāks nekā čugunam, efektīvi absorbējot iekārtu mikrovibrāciju.
Nulles magnetizācijas daba: pilnībā novērš magnētisko kļūdu lāzera mērījumos
1.2 Metamorfozes ceļojums no manējās līdz ražotnei
Ņemot par piemēru ZHHIMG viedās ražošanas bāzi Šaņdunā, neapstrādāta granīta gabalam ir jāveic:
Īpaši precīza apstrāde: piecu asu savienojumu apstrādes centrs 200 nepārtrauktas frēzēšanas stundām, virsmas raupjums līdz Ra0,008 μm
Mākslīgā novecošanas apstrāde: 48 stundas dabiskas stresa atbrīvošanas nemainīgas temperatūras un mitruma darbnīcā, kas uzlabo produkta stabilitāti par 40%
Otrkārt, atrisiniet sešas pusvadītāju ražošanas precizitātes problēmas "akmens risinājums"
2.1 Plākšņu fragmentācijas ātruma samazināšanas shēma
Gadījuma demonstrācija: Pēc tam, kad skaidu lietuve Vācijā ievieš mūsu ar gāzi peldošo granīta platformu:
| Vafeles diametrs | mikroshēmas ātruma samazināšana | līdzenuma uzlabošana |
| 12 collas | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 collas | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Litogrāfiskās izlīdzināšanas precizitātes izrāviena shēma
Temperatūras kompensācijas sistēma: iestrādātais keramikas sensors reāllaikā uzrauga formas mainīgo un automātiski pielāgo platformas slīpumu
Izmērītie dati: svārstībās 28 ℃ ± 5 ℃, iegulšanas precizitāte svārstās mazāk nekā 0,12 μm
Publicēšanas laiks: 2025. gada 24. marts