Revolūcija plākšņu griešanas precizitātē! Kā saglabāt granīta pamatnes ±5 µm pozicionēšanu?

Pusvadītāju ražošanas "nanoprecizitātes" galīgajā cīņā pat mazākā kļūda vafeļu griešanas iekārtās var pārvērst mikroshēmu atkritumos. Granīta pamatne ir neatzītais varonis, kas kontrolē ±5 μm atkārtotas pozicionēšanas precizitāti, pārrakstot precīzās ražošanas noteikumus ar saviem trim dabas brīnumiem.

"Stabilizējošs enkurs" pret termisko deformāciju: Granīta termiskās izplešanās koeficients ir tikai 5–7 × 10⁻⁶/℃, kas ir tikai viena trešdaļa no metāla materiālu termiskās izplešanās koeficienta. Siltuma ietekmē, ko rada vafeļu griešanas iekārtu ātrgaitas darbība, parastie materiāli deformējas termiskās izplešanās un saraušanās dēļ, izraisot griešanas galviņas pozīcijas nobīdi. Tomēr granīta pamatne var palikt "nekustīga", būtiski novēršot termiskās deformācijas radīto pozicionēšanas novirzi un liekot stabilu pamatu precizitātei.

Vibrāciju absorbcijas "klusuma vairogs": Pastāvīgo darbgaldu rēkoņu un nepārtraukto iekārtu vibrāciju darbnīcā var uzskatīt par "nāvējošiem precizitātes slepkavām". Granīta unikālā kristāliskā struktūra ir kā dabisks amortizators, kas spēj ātri pārveidot iekārtu darbības radītās ārējās vibrācijas un mehāniskās vibrācijas siltumenerģijā izkliedēšanai. Kamēr citas pamatnes joprojām "šūpojas" vibrācijas dēļ, granīta pamatne ir izveidojusi stabilu platformu griešanas galviņai, kas paliek nekustīga, nodrošinot ±5 μm precizitāti.

Korozijizturīga "Mūžīgā cietoksnis": Pusvadītāju darbnīcas ir piepildītas ar kodīgām vielām, piemēram, kodināšanas šķīdumiem un skābju un sārmu tīrīšanas līdzekļiem. Šādā vidē metāla pamatnes pakāpeniski sarūsēs un deformēsies. Granīts, kam piemīt ķīmiskā stabilitāte, vispār nereaģē ar šīm ķīmiskajām vielām. Neatkarīgi no tā, cik gadus tas tiek lietots, tas var saglabāt strukturālo integritāti un nepārtraukti nodrošināt augstas precizitātes griešanu.

No materiāla meistarības līdz īpaši precīzai apstrādei, granīta pamatne ar savu izturību ir pierādījusi, ka ne visi materiāli var tikt galā ar skarbajiem pusvadītāju ražošanas izaicinājumiem. Tieši šo neaizvietojamo dabisko priekšrocību dēļ granīta pamatnes ir kļuvušas par galveno vafeļu griešanas iekārtu atkārtotas pozicionēšanas precizitātes ±5 μm sasniegšanai, un ir vēl vairāk veicinājušas pusvadītāju nozari nepārtraukti virzīties uz augstāku precizitāti!

precīzs granīts14


Publicēšanas laiks: 2025. gada 14. maijs