8 precīzijas granīta komponentu tipiskie pielietojumi pusvadītāju iekārtās

Pusvadītāju nozarē, kur standarta mērvienība ir “nanometrs”, iekārtu strukturālā integritāte nav apspriežama. Tā kā mikroshēmu mezglu izmērs sarūk līdz 5 nm un vairāk, pieprasījums pēc vibrācijas slāpēšanas un termiskās stabilitātes sasniedz ārkārtēju līmeni. Precīzijas granīta komponenti ir kļuvuši no augstas klases opcijas par būtisku pusvadītāju ražošanas aparatūras “DNS”.

Kā vadošais augstas stabilitātes iekārtu konstrukciju piegādātājs, ZHHIMG® analizē astoņus kritiskākos pielietojumus, kuros granīts ir rūpnīcas klusais varonis.

1. Litogrāfijas iekārtu bāzes

Litogrāfijas iekārta ir vissarežģītākā iekārta pusvadītāju ķēdē. Pamatnei ir jāatbalsta masīvas optiskās sistēmas, vienlaikus paliekot pilnīgi nekustīgai. Granīta augstais blīvums un iekšējā slāpēšana ļauj tam absorbēt apkārtējās vides mikrovibrācijas, nodrošinot, ka gaismas avots paliek izlīdzināts atomu līmenī.

2. Gaisa gultņu kustības posmi

Lielātruma vafeļu transportēšanai nepieciešama kustība bez berzes. Tā kā granītu var apstrādāt ar pārlapošanas metodi, lai panāktu submikrona plakanumu, tas kalpo kā ideāls partneris gaisa gultņu tehnoloģijai. "Gaisa spilvens" slīd pāri granīta virsmai bez nodiluma, nodrošinot īpaši vienmērīgu kustību, kas nepieciešama skenēšanai un pozicionēšanai.

3. Plākšņu pārbaudes un metroloģijas platformas

Pēc kodināšanas vafeles ir jāpārbauda, ​​vai tajās nav defektu. Jebkura termiskā izplešanās iekārtas rāmī var izraisīt "viltus pozitīvu" rezultātu vai nepamanītu defektu.Precīzijas granīta komponentinodrošina termiski inertu vidi, garantējot, ka pārbaudes dati ir patiess vafeļa virsmas atspoguļojums, nevis iekārtas radītais deformācija.

4. Gantrijas kustību sistēmas (tilta konstrukcijas)

Ātrgaitas griešanā vai stiepļu savienošanā "tiltam" jeb portālam ir jāpārvietojas ātri, nekratoties. Granīta portālam ir labāka stingrības un masas attiecība salīdzinājumā ar čugunu, ievērojami samazinot "nosēšanās laiku" — laiku, kas mašīnai jāgaida, līdz vibrācijas apstājas, pirms tā var veikt nākamo uzdevumu.

5. Lāzera remonta iekārtu rāmji

Kad maskā vai plāksnē tiek atrasts defekts, precīzai labošanai tiek izmantoti lāzeri. Tam nepieciešams strukturāls pamats, kas ir pilnīgi nemagnētisks un nevadošs. Granīts ir dabiski izolējošs, novēršot elektromagnētisko traucējumu ietekmi uz jutīgo lāzera ceļu.

6. CMM (koordinātu mērierīces) tīrtelpām

Pusvadītāju ražotnes kvalitātes kontrolei ir nepieciešamas KMM iekārtas, kas spēj izturēt stingrus tīrtelpas protokolus. Atšķirībā no metāla, kas var atdalīt daļiņas vai oksidēties, granīts ir skābju izturīgs un nerūsējošs, saglabājot augstu iekārtas struktūras stabilitāti, nepiesārņojot vidi.

7. Ķīmiskās mehāniskās pulēšanas (ĶMP) bāzes

CMP procesā tiek izmantota suspensija un ķīmiskie reaģenti, kas ir ļoti kodīgi metāliem. Granīta dabiskā ķīmiskā izturība padara to par ideālu materiālu pulēšanas iekārtu konstrukcijas pamatnei, nodrošinot ilgu kalpošanas laiku pat skarbajā ķīmiskā vidē.

8. Jonu implantācijas sistēmas

Jonu implantu augstsprieguma vidēm ir nepieciešamas sastāvdaļas, kas netraucēs jonu stariem un neradīs elektrisko loku. Granīta dielektriskās īpašības padara to par drošu un stabilu izvēli jutīgu elektrisko un vakuuma komponentu montāžai.

Kāpēc pusvadītāju infrastruktūrai izvēlēties ZHHIMG®?

Uzņēmumā ZHHIMG® mēs saprotam, ka pusvadītāju iekārtu bāze ir vairāk nekā tikai akmens gabals — tā ir kalibrēta ierīce. Mūsu specializētais melnais granīts apvienojumā ar vairāk nekā 30 gadu manuālās slīpēšanas pieredzi ļauj mums sasniegt līdzenuma un paralēlisma pakāpes, kas atbilst stingrajām submikronu ēras prasībām.

• Materiāls: augsta blīvuma, īpaši smalkgraudains ZHHIMG® melnais granīts.

• Precizitāte: Precizitātes pakāpes saskaņā ar DIN 876 00. pakāpi vai pielāgotām JIS/ASME specifikācijām.

• Pielāgošana: Mūsu 10 000 m² lielajās darbnīcās ar nemainīgu temperatūru ir iepriekš uzstādīti integrēti ieliktņi, T veida rievas un gaisa gultņu sliedes.