Neatlaidīgajos centienos sasniegt nanometru mēroga precizitāti pusvadītāju iekārtu ražotāji un optiskās pārbaudes inženieri saskaras ar fundamentālu izaicinājumu: precizitāti bez kompromisiem. Tā kā litogrāfijas mezgli sarūk zem 5 nm un pārbaudes pielaides tuvojas atomu izmēriem, pārbaudes iekārtu strukturālais pamats vairs nav pasīva sastāvdaļa — tas ir kluss ražas, caurlaidspējas un ilgtermiņa uzticamības arbitrs.
Gadu desmitiem nozare ir paļāvusies uz dažādiem materiāliem pusvadītāju mašīnu pamatnes pielietojumos. Tomēr pēdējos gados starp vadošajiem oriģinālā aprīkojuma ražotājiem (OEM) un pētniecības iestādēm ir izveidojusies skaidra vienprātība: augsta blīvuma melnais granīts ir kļuvis par zelta standartu pārbaudes pamatnēm. Šajā rakstā tiek aplūkoti pieci pārliecinoši iemesli, kāpēc precīzijas granīta komponenti, īpaši tie, kuru blīvums sasniedz 3100 kg/m³, no jauna definē pusvadītāju metroloģijas iespējas.
Uzņēmumā ZHHIMG mēs paši esam bijuši liecinieki šai evolūcijai. Mūsu inženieri katru dienu strādā ar ražotājiem, kas paplašina nanotehnoloģiju robežas, un pierādījumi ir konsekventi: ja atteices robeža tiek mērīta nanometros, atšķirība starp “pietiekami stabilu” un “patiesi stabilu” nosaka konkurences priekšrocības.
1. iemesls: izcila termiskā stabilitāte temperatūras ziņā kritiskā vidē
Pusvadītāju pārbaudes sistēmas — neatkarīgi no tā, vai tās paredzētas plākšņu defektu noteikšanai, kritisko izmēru mērīšanai vai pārklājuma metroloģijai — darbojas vidē, kur termiskās svārstības ir precizitātes ienaidnieks. Pat mikroskopiska termiskā izplešanās var radīt mērījumu kļūdas, kas iznīcina ražu.
Melnā granīta izcilā termiskā stabilitāte izriet no tā zemā termiskās izplešanās koeficienta (CTE). Kamēr tēraudam CTE ir aptuveni 12×10⁻⁶/°C, augstas kvalitātes melnajam granītam tas parasti ir no 0,6 līdz 1,2×10⁻⁶/°C, kas ir aptuveni 10 reizes zemāks nekā metāliskām alternatīvām.
Tas nav tikai teorētiski. Rūpnīcas vidē, kas darbojas visu diennakti un kurā apkārtējās vides temperatūra var svārstīties par ±3 °C, neskatoties uz sarežģītu klimata kontroli, tērauda bāzes pusvadītāju iekārtas pamatnei var rasties izmēru nobīde, kas pasliktina mērījumu precizitāti. Melnā granīta stabilitātes priekšrocība nozīmē, ka kritiskā izlīdzināšana — starp optiskajiem sensoriem, vafeļu pakāpēm un mērījumu atsaucēm — saglabājas nemainīga visā darba ciklā, neprasot nepārtrauktu termisko kompensāciju.
Šīs priekšrocības fizikālie principi ir vienkārši: granīta kristāliskā struktūra, kas galvenokārt sastāv no kvarca, laukšpata un vizlas cieši savienotā matricā, pretojas termiskām kustībām atomu līmenī. Apvienojumā ar melnā granīta stabilitātes īpašībām, kas iegūtas no pienācīgi izturēta un sprieguma mazināta akmens (stingrs process ZHHIMG), materiālam praktiski nav nekādas "šļūdes" vai paliekošas deformācijas gadu desmitiem ilgas ekspluatācijas laikā.
Optiskās pārbaudes inženieriem tas nozīmē samazinātu kalibrēšanas biežumu, zemāku mērījumu nenoteiktību un pārliecību, ka šodienas izlīdzinājums joprojām būs precīzs arī pēc mēnešiem vai gadiem.
2. iemesls: nepārspējama vibrāciju slāpēšana nanometru mēroga izšķirtspējai
Pusvadītāju pārbaudes pasaulē vibrācija ir troksnis — burtiski. Neatkarīgi no tā, vai avots ir ārējs (ēku HVAC sistēmas, gājēju plūsma, tuvumā esošās ražošanas iekārtas) vai iekšējs (lineārā motora piedziņa, gaisa gultņu kustība, robotika), augstfrekvences vibrācijas rada artefaktus, kas kropļo mērījumu datus un pasliktina pozicionēšanas precizitāti.
Šeit granīta materiāla sastāvs sniedz izšķirošu priekšrocību: tā iekšējā slāpēšanas spēja ir 3–5 reizes lielāka nekā čugunam un ievērojami pārsniedz citu izplatītu konstrukcijas materiālu spēju. Šī raksturīgā vibrācijas absorbcijas spēja pārveido mērījumus apdraudošu troksni izkliedētā siltumenerģijā.
Apsveriet tipisku scenāriju: granīta pārbaudes bāze, kas atbalsta automatizētu optiskās pārbaudes (AOI) sistēmu, kas darbojas ar augstu caurlaidspēju. Tā kā pārbaudes posms strauji paātrinās un palēninās, lai uzturētu mērķus ar ātrumu "vafeļu stundā", uz pamatni tiek pārnesti dinamiskie spēki. Metāla pamatne pārraidītu šīs vibrācijas, izraisot optiskās sistēmas "zvanu" un palielinot nostabilizēšanās laiku starp mērījumiem. Augsta blīvuma melnā granīta stabilitātes priekšrocība absorbē šīs mikrovibrācijas, ļaujot:
- Ātrāks nosēšanās laiks, kas tieši ietekmē caurlaidspēju
- Augstāka atkārtojamība, pozicionēšanas kļūdām paliekot zem 5 nm pat agresīvu kustību profilu laikā
- Samazināta nepieciešamība pēc sarežģītām aktīvām vibrācijas izolācijas sistēmām, tādējādi samazinot kopējās ekspluatācijas izmaksas
Reālās pasaules validācija ir pārliecinoša. Pusvadītāju rūpnīcas, kas ir pārgājušas no tērauda uz precīzijas granīta komponentiem, ziņo par izmērāmiem pārbaudes ražības uzlabojumiem, īpaši kritiskos pielietojumos, piemēram, EUV litogrāfijas pārklājuma metroloģijā, kur vibrācijas izraisītie artefakti var tieši maskēt vai radīt viltus defektus.
Pusvadītāju iekārtu ražotājiem sekas ir skaidras: granīta izvēle pārbaudes bāzēm nav tikai materiāla izvēle — tas ir stratēģisks lēmums, kas ļauj iekārtām sasniegt augstus caurlaidspējas mērķus, nezaudējot precizitāti.
3. iemesls: izcils blīvums (3100 kg/m³) pasīvajai inercei
Ne visi granīti ir vienādi. Precīzās inženierijas pasaulē blīvumam ir nozīme, un augstas kvalitātes melnā granīta specifikācija 3100 kg/m³ ir ievērojama priekšrocība salīdzinājumā ar zemāka blīvuma akmeņiem un jo īpaši salīdzinājumā ar parasto marmoru (kura blīvums parasti svārstās no 2600 līdz 2800 kg/m³).
Kāpēc blīvumam ir nozīme? Pusvadītāju mašīnu bāzes kontekstā lielāks blīvums sasniedz trīs kritiski svarīgus mērķus:
- Palielināta masa pasīvai stabilitātei: Granīta pamatne ar svaru 3100 kg/m³ ar dotajiem izmēriem nodrošina aptuveni par 19% lielāku masu nekā alternatīva ar svaru 2600 kg/m³. Šī papildu masa rada lielāku inerci, padarot konstrukciju izturīgāku pret ārējiem spēkiem. Inženiertehniski tas ir “bezmaksas” pasīvās stabilizācijas mehānisms, kam nav nepieciešama enerģija vai vadības sistēmas.
- Samazināta porainība un palielināta stingrība: augsts blīvums korelē ar zemāku iekšējo porainību un lielāku materiāla vienmērīgumu. Tas nozīmē mazāk mikroskopisku tukšumu, kas varētu apdraudēt konstrukcijas integritāti, un augstāku elastības moduli (stingrību), kas pretojas deformācijai slodzes ietekmē. Precīzai granīta konstrukcijai, kas atbalsta vairāku tonnu pārbaudes iekārtas, šī stingrība nodrošina, ka atskaites plakne paliek līdzena un pareiza.
- Izcilas virsmas apdares iespējas: Augstas kvalitātes melnā granīta blīvā, vienmērīgā kristāliskā struktūra ļauj veikt manuālu slīpēšanu ar ārkārtīgi augstām pielaidēm. ZHHIMG mūsu meistari slīpētāji sasniedz līdzenuma specifikācijas, kas mērītas mikronos uz metru mēroga virsmām — veiktspēju, kas ir iespējama tikai ar blīvu, homogēnu materiālu.
Šī atšķirība kļūst īpaši svarīga, salīdzinot melno granītu ar marmoru precīzijas pielietojumiem. Lai gan marmors nespeciālistiem var izskatīties vizuāli līdzīgs, tā zemāks blīvums, mīkstāks minerālu sastāvs (galvenokārt kalcīts, nevis kvarcs) un lielāka jutība pret ķīmisko iedarbību padara to nepiemērotu sarežģītiem pusvadītāju pielietojumiem. Melnā granīta specifikācija 3100 kg/m³ nav patvaļīga — tā ir robežvērtība, zem kuras ilgtermiņa precizitātes saglabāšana kļūst neuzticama.
Iepirkumu speciālistiem ir ļoti svarīgi izprast šo blīvuma specifikāciju. Kad piegādātāji piedāvā “granītu” pārbaudes bāzēm, rodas jautājums: vai tas patiešām ir augstas precizitātes materiāls vai dekoratīvs akmens, kas maskējas kā inženiertehniskais granīts?
4. iemesls: ilgtermiņa precizitātes saglabāšana: kalibrēšanas nobīdes problēmas risināšana
Iespējams, ka pusvadītāju ražotāju vidū vislielākās bažas rada precizitātes saglabāšana ilgtermiņā. Kad investīcijas iekārtās sasniedz miljonus dolāru un ražotņu kalpošanas laiks ilgst gadu desmitiem, jautājums ir neizbēgams: vai šī pārbaudes sistēma saglabās savu precizitāti pēc pieciem, desmit, piecpadsmit gadiem?
Šeit melnā granīta stabilitāte patiesi izpaužas un būtībā pārspēj metāliskās alternatīvas.
Ilgtermiņa materiālu uzvedības fizika atklāj, kāpēc:
Granīta kristāliskā priekšrocība: Granīta metamorfiskā struktūra, pareizi izturēta dabiskās atmosfēras iedarbības un mākslīgo sprieguma mazināšanas procesu rezultātā, praktiski nerāda nekādu iekšējo sprieguma relaksāciju. Kad granīta precīzijas granīta konstrukcija ir pārlapota atbilstoši specifikācijai un kalibrēta, tā saglabā šo ģeometriju praktiski bezgalīgi. Materiāls "necietē deformācijas rezultātā", nenogurst un neizmaina fāzes.
Metāla metalurģiskās problēmas: Turpretī čuguna un tērauda konstrukcijas laika gaitā piedzīvo nelielas mikrostrukturālas izmaiņas — pat ideālos apstākļos. Sprieguma relaksācija, nelieli termiskās cikla efekti un lēna metalurģiskā novecošana var izraisīt dimensiju nobīdi. Lai gan šīs sekas bieži mēra mikronos desmitgadē, nanometru mērogā tās ir nozīmīgas.
Korozijas apsvērumi: Metāla pamatnēm nepieciešama pastāvīga aizsardzība pret koroziju — eļļas, pārklājumi vai kontrolēta vide —, lai novērstu rūsēšanu un virsmas degradāciju. Ja korozija ietekmē pat dažus mikronus virsmas apdares, tiek ietekmēta visa atsauces ģeometrija. Granīts ir ķīmiski inerts un nekorodējošs, tāpēc tā virsmas integritātes saglabāšanai nav nepieciešams nekas vairāk kā regulāra tīrīšana.
Reālās pasaules validāciju veic metroloģijas laboratorijas visā pasaulē. Koordinātu mērīšanas iekārtas (CMM), kas 20. gs. astoņdesmitajos gados tika uzbūvētas uz granīta pamatnēm, joprojām darbojas ar precizitātes specifikācijām, kas atbilst vai pārsniedz sākotnējās prasības — ar nosacījumu, ka tās ir pareizi kalibrētas. Granīta ilgtermiņa precizitāte nav minējums; tā ir dokumentēta vēsture, kas aptver gadu desmitus.
Pusvadītāju rūpnīcām tas nozīmē zemākas kopējās ekspluatācijas izmaksas. Mazāku atkārtotas kalibrēšanas biežumu, retāku komponentu nomaiņu un pārliecību, ka sākotnējais ieguldījums atmaksāsies visā iekārtas ekspluatācijas laikā.
5. iemesls: tīrtelpu saderība un piesārņojuma kontrole
Pusvadītāju ražošanā tīrtelpu protokoli nav apspriežami. ISO 3. klases un šaurākām vidēm ir nepieciešami materiāli, kas rada minimālu daļiņu piesārņojumu, ir izturīgi pret ķīmisku iedarbību no procesa gāzēm un tīrīšanas līdzekļiem un neapdraud vides kontroles sistēmas.
Melnais granīts izceļas ar visiem tīrtelpu saderības aspektiem:
Bezdaļiņu virsma: Atšķirībā no metāla virsmām, kas mehāniskas saskares rezultātā var radīt nodiluma atliekas (īpaši vietās, kur lineārās vadotnes vai gaisa gultņi saskaras ar pamatni), granīta ārkārtīgā cietība (Mohs 6–7) un nemetāliskais sastāvs nozīmē, ka saskarē rodas minimāls daļiņu daudzums. Tas ir kritiski svarīgi pārbaudes sistēmām, kas darbojas tuvu plāksnēm kritiskos procesa posmos.
Ķīmiskā izturība: Pusvadītāju rūpnīcās tiek izmantotas dažādas agresīvas ķīmiskas vielas — sākot no tīrīšanas līdzekļiem uz amonjaka bāzes līdz fotorezista šķīdinātājiem. Granīts ir ķīmiski inerts pret šīm vielām, savukārt metāla virsmas var korodēt, veidot bedrītes vai tām var būt nepieciešami aizsargpārklājumi, kas var noārdīties un radīt piesārņojumu.
Statiskā izkliede: Granīts dabiski nevada elektrību, kas nozīmē, ka tas neuzkrāj statisko lādiņu, kas varētu piesaistīt daļiņu piesārņojumu vai sabojāt jutīgas elektroniskās sastāvdaļas. Lai gan granītam var uzklāt vadošus pārklājumus īpašām zemējuma prasībām, pats pamatmateriāls nerada statiskās elektrības apdraudējumu.
Temperatūras stabilitāte samazina HVAC slodzi: Granīta siltummasa un zemā siltumvadītspēja palīdz mazināt temperatūras svārstības lokalizētās pārbaudes zonās. Šī pasīvā stabilizācija var samazināt precīzu HVAC sistēmu slodzi, veicinot energoefektivitāti un vides kontroles konsekvenci.
Praktiskās sekas ir ievērojamas. Kad iekārtu ražotāji projektē pusvadītāju mašīnu bāzes sistēmas progresīviem mezgliem, ir jānovērš katrs potenciālais piesārņojuma avots. Granīta tīrtelpām draudzīgās īpašības pilnībā novērš vienu riska kategoriju, ļaujot inženieriem koncentrēt savus piesārņojuma kontroles centienus uz citiem kritiski svarīgiem sistēmas aspektiem.
Salīdzinošā analīze: melnais granīts salīdzinājumā ar alternatīviem materiāliem
Lai pilnībā novērtētu, kāpēc melnais granīts ir kļuvis par zelta standartu, ir vērts salīdzināt tā veiktspēju ar alternatīviem materiāliem, ko parasti uzskata par pārbaudes bāzēm:
| Raksturīgs | Melnais granīts (3100 kg/m³) | Čuguns / tērauds | Marmors |
|---|---|---|---|
| Termiskās izplešanās koeficients | 0,6–1,2 × 10⁻⁶/°C | 10–12 × 10⁻⁶/°C | 5–8 ×10⁻⁶/°C |
| Vibrāciju slāpēšana | 3–5 reizes augstāks nekā tēraudam | Sākotnējais līmenis | Zemāks par granītu |
| Blīvums | ~3100 kg/m³ | ~7850 kg/m³ (lielāka masa) | ~2700 kg/m³ (zemāks) |
| Korozijas izturība | Lieliski (ķīmiski inerts) | Nepieciešama aizsardzība | Jutīgs pret skābēm |
| Ilgtermiņa izmēru stabilitāte | Niecīga rāpošana | Potenciāla stresa mazināšana | Potenciāla deformācija |
| Cietība (pēc Mosa skalas) | 6.–7. | 4–5 (mainās) | 3–4 |
| Tīrtelpu saderība | Bez daļiņām, nemagnētisks | Var radīt dzelzs putekļus | Var radīt daļiņas |
| Apkopes prasības | Minimāla (tikai tīrīšana) | Pastāvīga eļļošana, aizsardzība pret koroziju | Jūtīga pret ķīmiskām vielām |
| Sākotnējā līdzenuma tolerance | 1–2 μm/m sasniedzams | 2–5 μm/m tipiski | 3–10 μm/m tipiski |
| Kalibrēšanas biežums | Ieteicams 6–12 mēneši | tipiski 3–6 mēneši | tipiski 3–6 mēneši |
Šis salīdzinājums atklāj, kāpēc nozare ir pievērsusies melnajam granītam augstas klases pārbaudes lietojumprogrammās. Lai gan čuguns piedāvā priekšrocības noteiktos pielietojumos (galvenokārt, ja kritiski svarīga ir augsta dinamiskā stingruma un svara attiecība), metroloģijā un pārbaudē, kur termiskā stabilitāte un vibrāciju slāpēšana ir ārkārtīgi svarīga, granīta visaptverošās veiktspējas priekšrocības ir izšķirošas.
Marmora salīdzinājums ir īpaši pamācošs. Lai gan marmora estētiskā pievilcība padara to populāru arhitektūras pielietojumiem, tā zemākais blīvums, mīkstākais sastāvs un lielāka uzņēmība pret termiskām un ķīmiskām izmaiņām padara to nepiemērotu precīzijas pusvadītāju pielietojumiem. Melnā granīta un marmora atšķirība ir tāda, kas iepirkumu un inženieru komandām ir jāsaprot — marmora izvēle precīzijas granīta komponentu pielietojumam apdraudētu precizitāti un uzticamību.
ZHHIMG priekšrocība: inženiertehniskā precizitāte, ne tikai akmens piegāde
Uzņēmumā ZHHIMG mēs saprotam, ka granīta pārbaudes pamatne ir vairāk nekā tikai izejviela — tā ir precīzi konstruēta sastāvdaļa, kurai jāatbilst stingrām specifikācijām, sākot no karjera līdz pat tīrtelpai. Mūsu pieeja apvieno materiālzinātni, progresīvu ražošanu un metroloģijas zināšanas, lai nodrošinātu sastāvdaļas, kas pārsniedz nozares standartus:
Materiālu izvēles izcilība
Mēs iegūstam tikai augstākās kvalitātes melno granītu, īpašu uzmanību pievēršot blīvuma prasībām (≥3100 kg/m³), vienmērīgai kristāliskajai struktūrai un iekšējo defektu neesamībai. Mūsu patentētais ZHHIMG® melnais granīts tiek atlasīts no karjeriem, kuros ģeoloģiskie apstākļi rada materiālu ar izcilu homogenitāti — priekšnoteikums ilgtermiņa izmēru stabilitātei.
Uzlabota ražošanas infrastruktūra
Mūsu 200 000 m² lielajā ražotnē atrodas četras specializētas ražošanas līnijas, tostarp CNC iekārtas, kas spēj apstrādāt detaļas, kuru svars ir līdz 100 tonnām un garums līdz 20 metriem. Šis mērogs ļauj mums ražot lielus, sarežģītus precīzus granīta mezglus ar nemainīgu kvalitāti uz visām virsmām, kas ir kritiski svarīgi daudzu asu pārbaudes sistēmām, kur ģeometriskās savstarpējās attiecības ir tikpat svarīgas kā atsevišķu virsmu līdzenums.
Klimata kontrolēta precīza vide
Mūsu 10 000 m² lielā darbnīca ar nemainīgu temperatūru un mitrumu nodrošina ideālu vidi galīgajai slīpēšanai un metroloģijai. Ar 1000 mm biezu militārā līmeņa betona pamatu un apkārtējām vibrācijas slāpēšanas tranšejām mēs sasniedzam sākotnējo precizitāti, kas pārsniedz tipiskās prasības, maksimāli samazinot intervālu pirms nepieciešamības veikt virsmas atjaunošanu vai atkārtotu kalibrēšanu.
Ar rokām slīpēta meistarība satiekas ar moderno metroloģiju
Lai gan mēs izmantojam modernu CNC aprīkojumu, apdares pēdējos posmus veic mūsu meistari slīpētāji, kuriem katram ir vairāk nekā 30 gadu pieredze. Viņu zināšanas ļauj nodrošināt līdzenuma pielaides mikronu līmenī uz metru mēroga virsmām. Mēs validējam katru komponentu ar izsekojamu metroloģijas aprīkojumu, nodrošinot sertifikāciju, kas atbilst DIN 876, ASME un JIS standartiem.
Integrēta inženiertehniskā partnerība
Mēs ne tikai piegādājam komponentus — mēs sadarbojamies ar oriģinālā aprīkojuma ražotājiem (OEM), sākot no projektēšanas līdz pat validācijai. Mūsu inženieri sadarbojas saskarnes projektēšanā, montāžas stratēģijā un integrācijas apsvērumos, lai nodrošinātu, ka katra pusvadītāju iekārtu bāze darbojas optimāli plašākā sistēmas arhitektūrā. Šī partnerības pieeja samazina integrācijas risku un paātrina nonākšanu tirgū.
Secinājums: Nākotne ir balstīta uz stabilitāti
Pusvadītāju ražošanai virzoties uz 2 nm mezglu un tālāk, nozares precizitātes prasības turpina pieaugt. Vienlaikus ekonomiskais spiediens pieprasa lielāku caurlaidspēju, ilgāku iekārtu kalpošanas laiku un samazinātas kopējās īpašumtiesību izmaksas. Šie konverģentie spēki padara konstrukcijas materiāla izvēli stratēģiskāku nekā jebkad agrāk.
Melnais granīts, īpaši augsta blīvuma (3100 kg/m³) markas, kas paredzētas precīziem pielietojumiem, ir kļuvis par zelta standartu pārbaudes pamatnēm nevis mārketinga ažiotāžas dēļ, bet gan pateicoties pierādāmām veiktspējas priekšrocībām visos svarīgajos izmēros:
- Termiskā stabilitāte, kas samazina kalibrēšanas novirzi
- Vibrāciju slāpēšana, kas nodrošina nanometru mēroga izšķirtspēju
- Augsts blīvums, kas nodrošina pasīvu inerci un stingrību
- Ilgtermiņa precizitātes saglabāšana, kas aizsargā ieguldījumus iekārtās
- Saderība ar tīrtelpām, kas atbalsta piesārņojuma kontroles protokolus
Pusvadītāju iekārtu ražotājiem, optiskās pārbaudes inženieriem un iepirkumu speciālistiem secinājums ir skaidrs: lietojumos, kuros precizitāti nevar apdraudēt, melnais granīts nodrošina veiktspēju, ko alternatīvas nevar sasniegt.
Granīta inspekcijas bāzes izvēle ir apņemšanās nodrošināt ilgtermiņa precizitāti, darbības uzticamību un ražas optimizāciju. Tā ir atziņa, ka nanotehnoloģiju pasaulē atšķirība starp "pietiekami labu" un "optimālu" tiek mērīta nanometros, un šie nanometri nosaka panākumus.
Uzņēmumā ZHHIMG mēs lepojamies ar sadarbību ar nozares līderiem, kuri saprot, ka precizitātes pamatā ir pats pamats. Mūsu precīzijas granīta komponenti nav tikai materiāli — tie ir inženiertehniski risinājumi, kas nodrošina nākamās paaudzes pusvadītāju inovācijas.
Vai esat gatavs izpētīt, kā melnais granīts var uzlabot jūsu pārbaudes iekārtu veiktspēju? Sazinieties ar mūsu inženieru komandu, lai pārrunātu savas īpašās prasības un uzzinātu, kāpēc vadošie pusvadītāju ražotāji uzticas ZHHIMG saviem kritiskākajiem precīzijas pielietojumiem.
Publicēšanas laiks: 2026. gada 31. marts